以微型球状研磨工具制作批次凹型球面模具之技术开发与研究.PDF

行 狀 精 類 行 年年 行 立 參理良 理羅 理 理 利 年 年 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 以微型球狀研磨工具製作批次凹型球面模具之 技術開發與研究 計畫類別： ▓ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號： NSC 96 －2221 －E －008 －074 － 執行期間：96 年 8月 1日至 97 年 7月 31日 計畫主持人：黃 豐 元 教授 共同主持人：顏 炳 華 教授 計畫參與人員： 楊程光、陳彥良、羅亦琥 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：▓精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、列 管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 國立中央大學機械系 執行單位： 中 華 民 國 96 年 10 月 一、研究背景與動機 科技日益發達，工業界對於精密微小化的模具或微精密加工的需求日益增加，如微 機電系統(MEMS)中的微零件，其中有不少微軸、微流道等須經由微細加工完成，因此 微細加工法已將成為精密工業不可或缺的加工法。微細加工中，目前最常使用的加工法 有雷射加工、電子束加工、超音波加工、 離子束加工、蝕刻技術以及放電加工【1-7】 等，其中微細放電加工法是一種製造精微尺寸的有效方法，且加工費用便宜，並且能夠 配合其他複合加工製程，如游離磨料、超音波震動與複合電鍍等加工法，以最快且省時 省錢的方法製造出所需之微小且精密零件尺寸。有關微型工具成型技術方面，絕大多數 的研究以圓柱、三角柱、四方柱及針狀等微細工具為主，鮮少有關於微軸前端呈球狀之 研究。 市售鑽石研磨工具之中，較高品質的工具為利用化學氣相沉積法 (CVD)使工具表面 成長鑽石薄膜，雖然 CVD 法所成長的鑽石薄膜其強度、均勻性和緻密度等皆有相當良 好的表現，但其製作成本相對較高。 複合電鍍沉積法是在電鍍的同時，使顆粒沉積於鍍層金屬之上，並隨著電鍍時間的 增長而嵌入鍍層中，為一種廣泛研究的電鍍技術。複合電鍍沉積技術，除了應用於磨工 具之製作外，主要利用奈微米級陶瓷或鑽石顆粒來增強材料的耐磨耗特性，如引擎汽缸 壁、沖壓模具及各種摩擦件上。但對於磨粒在複合沉積時、磨粒附著狀態以及分散效果 等問題更是各界所研究的重要課題。 1 二、研究目的 目前市售鑽石研磨工具之中，較高品質的工具為利用化學氣相沉積法 (CVD)使工具 表面成長鑽石薄膜【8-10】，雖然CVD 法所成長的鑽石薄膜其強度、均勻性和緻密度等 皆有相當良好的表現，但其製作成本相對較高。因此，開發一種低成本且創新，適用於 中小企業的微型球狀磨削工具之製作技術研究，刻不容緩。 有關於微型工具成型技術方面，絕大多數的研究以圓柱、