压电偏摆台的复合控制-压电与声光.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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压电偏摆台的复合控制-压电与声光

第卷第期压电与声光年月文章编号压电偏摆台的复合控制张东岳王伟国张振东李博陈健中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春中国科学院大学研究生院北京摘要由于压电陶瓷具有迟滞效应为了更好地控制压电偏摆台减少迟滞效应对控制系统的影响首先通过坐标变换对偏摆台建立了迟滞模型然后求解其逆模型并设计前馈控制器使输入输出角度间具有较好的线性关系最后在此基础上进行比例积分微分反馈控制构成复合控制系统大幅度提高了定位精度实验结果表明最大定位误差为具有良好的控制效果关键词迟滞压电偏摆台迟滞模型逆模型复合控制中图分类号文献标识码