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精密位移台运动系统的技术参数介绍 任何位移台都有 6 个自由度：3 个分别沿着 x、y、z 轴方向的平移自由度，另外 3 个则 是围绕 x、y、z 轴的旋转自由度（如图 1）。 图 1 右手坐标系显示 6个方向的自由度 此处描述的所有运动都是关于右手坐标系的，所有的运动都可以看成是由沿坐标轴方向 的平动和绕坐标轴方向的转动的复合运动。 当选择一款专业的位移台时，需要考虑很多不同评定位移台性能的指标。了解各种各样 参数的定义以及他们如何影响运行结果将简化产品的选择过程。 1. 分辨率 Resolution 分辨率是指移动系统可以分辨的最小位置增量，它不同于系统的最小控制增量。同样涉 及到显示器和数据采集器的分辨率，通常取决于编码器的输出，但由于滞后、背隙等导致传 动系统的降低，因而大多系统的最小移动增量都不等于分辨率，除非编码器直接测量传动。 （1）对于电动平移台而言，分辨率为步进电机每转动最小的一步，位移台的运动输出 量。 电动平移台的分辨率可以用以下公式计算： 螺杆导程 分辨率 360 ×电机驱动器细分数 电机步距角 例如：螺杆导程是 4mm，电机的步距角是 1.8º，驱动器设置为 20 细分，则分辨率是 0.001mm。 4 分辨率 0.001mm 360 20 × 1.8 （2）电动旋转台的角分辨率可以用以下公式计算： 步距角 角分辨率 电机驱动器细分数×传动比 例如：电机的步距角是 1.8º，传动比是 180：1，驱动器设置为 20 细分，则角分辨率是 0.0005º。 1.8 角分辨率 °0.0005 20 180× 2. 灵敏度 Sensitivity 能产生一个输出运动的最小输入，通常用来表征手动位移台，也可以定义为输入驱动和 输出运动的比值，这个术语经常和分辨率混淆。 3. 精度 Accuracy 对于一个给定的输入，实际位置和理想位置之间的最大差距。运动系统的精度跟实际位 置的测量方式有很大的关系，所以对于开环设备中精度并不是一个很有意义的参数。 4. 绝对精度 Absolute Accuracy 绝对精度是指系统针对命令输入或理想输入的输出，更直观的说应该叫不确定度。当要 求一个运动系统精确运动 10mm，而实际上只运动了 9.99mm，则不确定度是 0.01mm。位移台 的轴线和测量尺的轴的角度误差会导致一个与角度呈余玄关系的单调递增误差，这就是常说 的余玄误差。 5. 精确度 Precision 精度是指对相同输入，覆盖 95%运动偏移的变化输出位置的变动范围。精确度也叫重复 定位精度。精度和精确度是不同的概念。 6. 重复定位精度 Repeatability 重复定位精度是指移动系统多次可到达一个既定点的能力。通常所说的重复定位精度指 的是单向重复定位精度，单向重复定位精度是指运动系统仅在一个方向上做重复增量运动。 这个参数避开了系统的空回和滞后。 因此一个更重要的定义是双向重复定位精度，即无论运动方向多次尝试达到一个严格意 义点的能力。 7. 空回 Backlash 空回是指不至引起反向可测量输出的最大输入量。轴向预紧不够或传动链元件的啮合不 好会导致空回，例如啮合齿轮上的齿不好。空回是相对稳定的，并且可以用好的控制器补偿。 8. 误差 Error 误差是指实测的品质参数和理想的/需要的结果之间的差值。误差主要有两个方面：轴 向误差，如精度