GB/T 16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则.pdf

犐犆犛７１．０４０．９９ 犖５３ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜１６５９４ ２００８ 代替 ／ — ＧＢＴ１６５９４ １９９６ 微米级长度的扫描电镜测量方法通则 犌犲狀犲狉犪犾狉狌犾犲狊犳狅狉犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犾犲狀狋犺犻狀犿犻犮狉狅狀狊犮犪犾犲犫 犛犈犕 犵 狔 　　 ２００８０９１８发布 ２００９０５０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜１６５９４ ２００８ 前 言 　　 本标准代替 ／ — 《微米级长度的扫描电镜测量方法》。 ＧＢＴ１６５９４ １９９６ 　　 本标准与 ／ — 相比主要变化如下： ＧＢＴ１６５９４ １９９６ ———将“测量方法”改为“测量方法通则”； ———将“误差分析”改为“不确定度评定”； ———增加样品变形产生的不确定度评定； ———改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值； ———增加“被测长度方向的调整”附录。 本标准的附录 为规范性附录，附录 附录 为资料性附录。 Ａ Ｂ～ Ｄ 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。 本标准主要起草单位：上海元宝能源技术有限公司、上海理工大学、上海市计量测试技术研究院、同 济大学、中国船舶重工集团公司第 ７２５研究所。 本标准主要起草人：张训彪、卢德生、邓保庆、丁臻敏、刘悦、高文华、徐国照。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— ／ — 。 ＧＢＴ１６５９４ １９９６ Ⅰ ／ — 犌犅犜１６５９４ ２００８ 微米级长度的扫描电镜测量方法通则 １ 范围 　 本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的通用原则。适用于测量（ ） 的长度。 ０．５ １０ ｍ