应用化学机械抛光法于玻璃基板表面抛光之研究-机械工程系-东南.PDF

中國機械工程學會第二十五屆全國學術研討會論文集 大葉大學 彰化 大村 中華民國九十七年十一月二十一日、二十二日 應用化學機械拋光法於玻璃基板表面拋光之研究 1 3 2 2 吳坤齡 、顏炳華 、黃豐元 、陳美惠 1 東南科技大學機械工程系副教授 2 中央大學機械工程系教授 3 中央大學機械工程系研究生 其玻璃在製造過程中對水質和空氣產生了污染，加上 摘要 原料砂礦之取得也會造成景觀的破壞。因此在玻璃產 光學玻璃有別於一般玻璃，須要具備良好的物 業中大量回收廢玻璃二次再利用，其用料量會比用原 理與化學特性，由於光學玻璃在生產或製造過程中， 料來製造玻璃更為節省，它對於自然資源節省、環境 難免會有外觀規格上的瑕疵，因此實際應用上常以堪 維護更有效益 [1]。而光學玻璃毛坯在壓製與過程中 用等級來使用或是以廢棄物回收處理；若採以機械微 會有收縮或裂紋、氣泡、變形等現象[2] ，此現象會 拋光加工，可使高硬度、低軔性又難加工的光學玻璃 造成尺寸規格偏差；因此光學玻璃使用上仍須經各種 獲得極少量移除效果並兼具光滑平整的工件表面，以 不同研磨拋光處理，以達到所需的尺寸精度與幾何外 達到所需的幾何外形要求。 形；但由於光學玻璃為硬脆材料，屬於較難加工的材 對於光學玻璃而言，拋光參數對於加工件品質 料，且加工所需時間較長，容易在加工過程中造成外 及加工效率的影響頗大，故如何找尋最適當的加工參 形損傷，增加了光學玻璃研磨拋光加工的困難度；然 數是此項實驗必須突破的課題。因此本研究乃利用具 而一般光學玻璃應用於精密電子儀器設備、光通訊、 有 CNC 功能的微雕刻機為加工機具，並將雕刻機的 光電等光學零組件上，其尺寸精度與表面粗度之要求 雕刻針頭置換成自製的研磨棒，於研磨棒底端黏上拋 將更為嚴峻。 光墊或不織布材料，實驗以厚度 0.7mm的康寧光學 目前光電產業中重要零組件-玻璃基板，表面已 玻璃為被加工件，氧化鈰 (CeO2) 為研磨拋光液，分 具備高平整度之水準，局部因為加工過程中造成局部 別以研磨棒轉速、軸向荷重、加工時間、拋光墊材料