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奈米技術實習第二次報告 南台科技大學 機械工程系 微奈米技術組 四技奈米三乙 PVD鍍膜機與真空幫浦換油實習項目簡介 組別:第十一組 組長：劉育豪(學號：4A114060) 組員：宋冠瑋(學號：4A114052) 姜紹鈞(學號：4A114057) 賴泓佑(學號：4A114059) 廖柏翰(學號：4A114062) 指導老師 李友竹 教授 實習題目：PVD鍍膜機與真空幫浦換油實習 實習日期：103 年10月28日 壹、緣由： PVD鍍膜實驗 近年來，石油化學燃料所造成的環境與經濟問題，全世界對於綠色能源的要求極加重視，對於材料的特性和耐用性趨向嚴格，而對其應用性亦趨向精緻化，更突顯真空鍍膜的重要性。由於真空鍍膜製程上環保且製程溫度低，可應用在多數薄膜材料，相較於傳統製程更加環保和安全。 換油維修真空幫浦分為乾式與溼式等種類，其中溼式幫浦常使用油來填補凸輪與內壁之間細，不過仍需要換油，來排除內部的雜質，否則在抽真空時，會有真空度不夠的問題，此次如何更換馬達之機油，是為了讓我們能夠熟悉最基本的保養。 貳、原理： PVD鍍膜實驗 物理氣相沉積法是利用高溫熱源將原料加熱至高溫，使之氣化或形成等離子體，然後在基體上冷卻凝聚成各種形態的材料（如單晶、薄膜、晶粒等）。所用的高溫熱源包括電阻、電弧、高頻電場或等離子體等，由此衍生出各種PVD技術，其中以陰極濺射法和真空蒸鍍較為常用。 這次實驗所用的方法是真空蒸鍍，而真空蒸鍍是在真空條件下通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面。在現代已成為常用鍍膜技術之一，真空蒸鍍的設備結構如右圖所示。 蒸發物質如金屬、化合物等置於坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發源，待鍍工件如金屬、陶瓷、塑膠等基片置於坩堝前方。等到系統抽至高真空後，加熱坩堝使其中的物質蒸發。蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。而多厚取決於蒸發源的蒸發速率和時間，也與蒸發源和基片的距離有關。蒸發鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍製單質和不易熱分解的化合物膜。 換油維修 機械式真空幫浦的作用原理是由機械式動作自真空腔室中抽氣，接著在幫浦中進行傳輸、壓縮、排氣之行程﹐以達到抽真空的效果。 而機械式幫浦又分為乾式與油式，本次實驗用的機器是油式，藉由換油維修讓油填滿內壁的間隙，並去除裡面的雜質。 參、實驗方法： PVD鍍膜操作實驗 先將在玻片兩側貼上鋁合金片，貼上PVD鍍膜機內圓盤上，並放置一個鎢塊在裡面，將蓋子蓋上開始抽真空大約10到15分鐘，在抽真空的同時，須調整真空閥，先用機械幫浦抽到機器顯示負3，再用擴散幫浦輔助顯示到負5，當腔體的數值高於MP值時會轉為離子真空計的數值，再開啟水源讓出水口排水，接著打開125A/AC的電源加熱使鎢融化並鍍在玻片上，最後要使真空度回到一大氣壓，之後開啟腔體閥門即可取出玻片。 老師帥氣的操作PVD鍍膜機，顯示負值 等待內部進行加熱中 換油維修 先打開下蓋，用容器盛裝廢油，再慢慢打開上蓋使空氣流通加快廢油的流速，等廢油大致流完後，將上下蓋輕輕鎖上，啟動馬達運轉一會兒，再次打開下蓋使殘留的廢油、雜質流出，之後將下蓋鎖緊，將新油倒入，加至標準線即可。 老師不疾不徐得拆開螺絲卸油，避免螺 老師緩慢倒油，並把右手拿取的勺斗 絲掉落在容器中。 稍微舉高 肆、結果與討論： PVD鍍膜實習 PVD鍍膜實習完成後，從背面可觀察到一面均勻如鏡面般的塗層，如圖1所示。而我們在鍍膜的表面看到的則是一層全黑的塗層，如圖2所示，由於我們在抽真空時，未將空氣抽乾淨，腔體內上有殘留之氮氣，使之在鍍膜過程中與鋁結合為氮化鋁，附著於表面。 換油實習: 每一個機器都需要定期的進行保養與維護，換油也是其中之一，在實習中我們實際操作每個步驟，每個看似簡單的步驟，稍有不慎，都會影響整個換油的流程，甚至會縮短機械的壽命。 所以應當注意每個小細節，如:需添加的新油油量、螺栓開的順序...等等，除此外，我們也要學習分辨使用的油品，以防止用到錯的油品而導致機械的損壞。 何為真空? 在一個空間內，如果其氣壓低於一個大氣壓的氣體狀態，即稱為真空。而真空也是有區分程度的，1大氣壓~1/1000大氣壓稱為低真空，接下來到1/1000000大氣壓為中；到1/10000000000大氣壓為高真空；到1/10兆大氣壓為超高真空；再上則為極高真空。 傳統電鍍與PVD鍍膜的差異? 一般濕式鍍膜會在表面覆蓋一層薄膜層 ，不論底材之原先形狀為何，表面所呈現出來的薄膜層都會趨於平坦。而PVD 鍍膜會依底材形狀平均在上方形成一個鍍膜層，依底材高低形狀有所不同，經鍍膜後的高低形狀也是依照原先底材之態樣。 為使機體內所殘存的雜質得