纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用.pdfVIP

纳米材料与结构 !#$%’()* + ,(-.-(’ 纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用 沈海军 穆先才 ! ! # 南京航空航天大学航空宇航学院 南京 !##$ ! $ $ % 摘要 介绍了纳米薄膜的分类以及纳米薄膜的光学 力学 电磁学与气敏特性 综述了现有的 溶胶 凝胶法 膜法 电化学沉积法 化学汽相沉积 低能团簇束沉积法 真空蒸发法 溅 % $ %’ $ $ $ $ $ 射沉积 分子与原子束外延 分子自组装等纳米薄膜制备技术 概括了纳米薄膜的应用 $ $ % 关键词 纳米薄膜 特性 制备方法 应用 ! % % % 中图分类号! ,+- ( ,+# 文献标识码! . 文章编号! %/0 %)#00/ !!1 %%)1/)1 !#$$%%’()%*+ # ,-*./-)%/$ # ,-/.(-()%*+ 0/)1*2$ (+2 3..%’()%*+ * 4(+*56/78-(+/$ 2345 367)89’ # :; 76’)=67 !!#$$% $ ’()$*+,-./ +*0 ’/-)$*+,-./ # 1+*2 .*3 4*.5()/.-6 $ 7()$*+,-./ 8 7/-)$*+,-./ # 1+*2 .*3 ! % %/ # 9#.*+ 38$)-(’) ) ,? =@6AA7B7=6C7D’ 6’E C? DFC7=6@ # (?=6’7=6@ # ?@?=CGD)(6H’?C7=6@ # 6’E H6A)A?’A7C7I? FGDF?GC7?A DB ’6’D)(?(JG6’?A 6G? 7’CGDE9=?EK 2D(? =9GG?’C (?CDEA CD FGDE9=? ’6’D)(?(JG6’?A # A9= 6A # AD@)H?@ (?CDE # *)+ (?(JG6’? (?CDE # ?@?=CGD)=?(7=6@ E?FDA7C # =?(7=6@ I6FDG E?FD) A7C7D’ # @DL)?’?GHM =@9AC?G J?6( ?I6FDG6C7D’ # I6=99( ?I6FDG6C7D’ # AF6CC?G E?FDA7C7D’ # (D@?=9@6G DG 6CD(7= J?6( ?F7C6NM 6’E (D@?=9@6G A?@B)DGH6’7O6C7D’ # 6G? G?I7?L?EK .FF@7=6C7D’A DB ’6’D)(?() JG6’?A 6G? A9((6G7O?EK 9/: ;*-2$ ) ’6’D)(?(JG6’?A ( FGDF?GC7?A ( FG?F6G6C7D’ (?CDE ( 6FF@7=6C7D’ % 引 言 ! 纳米薄膜的分类 $ # %