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上海工程技术大学 材料工程学院多功能真空实验仪设备 采购项目 招标文件 项目名称：材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目 招标方：上海工程技术大学资产处 2015年10月16日 招标文件 招标项目名称：材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目 发标时间：2015年10月16日星期五 一、??? 投标邀请 招标方式： 受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对仙霞路校区舞蹈房地板及铺设采购项目进行材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目公开招标。具体技术要求见附件。 兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜。 1．????????????? 投标地点：上海工程技术大学资产处物资供应中心（行政楼B111室） 2．????????????? 投标截止时间：2015年10月22日12：00，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受。 3．????????????? 开标时间和地点：2015年10月下旬，采取公开开、评标，地点：校资产处。 4．????????????? 开、评标结果由资实处具体人员通知投标单位。 5．????????????? 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2015年10月22日前与资产处物资供应中心联系。 6．????????????? 本招标方地址：上海市龙腾路333号????邮编：201620 7．????????????? 联系人：冷老师????电话附： 招标要求 适用范围 多功能真空实验仪由机械泵+分子泵构成的高真空实验平台，采用玻璃真空室，通过玻璃真空室能清晰地观察到蒸发、溅射等物理现象的全过程；并能实现薄膜制备。 可开设的实验： 1、真空的获得与测量；2、蒸发法薄膜制备 ；3直流溅射法薄膜制备 真空室 镀膜室尺寸 Φ300mm×360mm 高强度硼硅玻璃钟罩； 结构 钟罩式结构，底盘抽气系统 抽气系统 机械泵 前级泵 2ZX-4直联泵 一台 分子泵 FF160/600分子泵 一台 蒸发组件 蒸发电源 （1.5KW/10V）1组 蒸发电极 无氧铜电极2组　（切换蒸发），配有交叉防污染板 蒸发挡板 采用磁力耦合传动 溅射组件 溅射靶 ф50(磁控溅射靶 直流、射频兼容) 溅射电源 开环电压：DC 0～1000V/1A； 工作电压400～800V 射频电源 300W射频电源，频率13.56MHZ， 样品台 可镀膜尺寸： 最大120mm；基片台可按要求定制； 操作方式 手动按键式 工件烘烤 室温—300℃（PID控制） 恢复真空 2×10-3 Pa（小于40min） 极限真空 8×10-5Pa 真空显示 ◇数显复合真空计（成都正华）：一低一高 ◇（一路）热偶规： 1.0x103Pa ---1.0x10-1Pa ◇（一路）电离规： 1.0x10-1Pa ---1.0x10-5Pa 设备控制 ◇供电：220V/50Hz单相三线制供电系统。设备和电器控制柜接地线 ◇配置国际标准电源柜，其上装有：总控制电源1台、数显复合真空计1台、加热温控电源1台、分子泵控制电源1台，蒸发电源1台，溅射电源1台。 ◇整机配有水流报警系统，在水压不够或断水时报警，并切断分子泵电源等； ◇采用独立式电控柜，带独立滚轮，方便维修。 ◇电气元件：主要采用法国施耐德品牌或韩国 LG 品牌产品，产品故障率低。 其他 技术服务及质量保证： ◇提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书； ◇提供该设备的设计总体图及部件总图，供采购人存档及维修使用； ◇组装调试：成套设备出厂前在工厂所在地进行组装调试，达到技术要求；拆装运输至使用方所在地后，进行第二次组装调试，并符合生产要求，由使用方在一星期内对装置本体进行验收。 说明 真空室玻璃全透明，能清晰地观察到蒸发、溅射等物理现象的全过程； 工件温度能够精确控制（常温到300度以内） 蒸镀时可以精确控制电压大小 磁控溅射靶2个，一个是电子磁控溅射靶，一个是射频磁控溅射靶 要有通氩气的接口 抽气时间要求3 x10-4Pa，一小时内达到 可以实现金属、陶瓷、有机物等的镀膜。 参考图： 5