基于MEMS的电容式电流传感器原理与设计.PDF

西北大学学报( 自然科学网络版) 2013 年 1 月，第 11 卷，第 1 期 Science Journal of Northwest University Online Jan. 2013 ，Vol.11 ，No.1 基于 MEMS 的电容式电流传感器原理与设计 张 渤，李文峰 （西安科技大学，通信与信息工程学院，陕西 西安 710054 ） 摘 要：为了提高传统电流传感器的测量精度，提出采用新兴的 MEMS 技术应与差分电容检测的 方法，做了采用微机电技术的微型电流传感器的结构研究，阐述了器件的工作原理。得出了器件 的设计结构、模态分析和灵敏度分析等结论。 关键词：MEMS ，电流传感器，悬臂梁，差分电容 中图分类号：TN603.5 文献标识码：A 文章编号：1000-274X(2013)0522-07 Development of MEMS current sensor based on capacitor readout ZHANG Bo, LI Wen-feng (Xi’an University of Science and Technology, Xi’an, 710054, China) Abstract: To develop a non-contact current sensor for the power system. The current sensor based on MEMS technology is developed by analyzing the simulation of the system design of the micro cantilever when subjected to a magnetic field produced by a current-carrying conductor. When the signal, a sinusoidal current with a constant frequency is applied, the cantilever-beam exhibits a vibration motion along the vertical axis when it is placed closer to the line current. This creates corresponding capacitance changes and generates a voltage output proportional to the capacitive change in the signal processing circuitry attached to the micro cantilever. The output voltage due the capacitance change has showed a linear relationship in a certain range and nonlinear beyond. Keyword: MEMS, current sensor, cantilever beam, differential capacitor 随着用电量和电力工业技术的迅速发展，运行电压等级的增高和电力传输的容量的增加，电流互感器 对电力系统运行的安全性、可靠性、电力分配、电流计量等方面起着非常关键的作用，对传感器要求越来 越高，即要求其性能好、体积小、抗干扰能力强、不随温度等因素变化，又要求性价比高。传统的电流互 感器已经暴露出越来越多的缺点，如结缘结构复杂、充油易爆炸、易受电磁干扰、铁心易饱和、造价高等。 目前，MEMS 技术已经在传感器领域大量应用，微梁结构也经常用于压力传感器，加速度传感器等，是经 验证很好地换能微机械结构，中科院、上海交大、哈工大等都在积极研究微结构的电磁感应传感器。针对 这些问题本文提出一种