半导体业洗涤塔问题探讨与改善实务.PDFVIP

半導體業洗滌塔問題探討與改善實務 半導體業洗滌塔問題探討與改善實務 Center for Environmental, Safety and Health Technology Industrial Technology Research Institute. Taiwan, R.O.C. 03-5913853, hmchein@itri.org.tw 03-5913853, hmchein@itri.org.tw 18 Oct. 2002 18 Oct. 2002 目錄 目錄 前言 前言 基本理論 基本理論 實務設計 實務設計 操作規範 操作規範 效率分析 效率分析 結語 結語 Center f or Environmental Saf ety Health Technolo Center f or Environmental Saf ety Health Technolo Industrial Technology Research Institute Industrial Technology Research Institute Taiwan, R.O.C. Taiwan, R.O.C. 前 言 前 言 “半導體製造業空氣污染管制及排放標準” “半導體製造業空氣污染管制及排放標準” 管制對象 管制對象 M ateriel U sage Yearly (eq ual or m ore) volatile o rganic com p ounds 1700kg/y ear Trichloroethy lene 60 kg/y ear HN O3 1700kg/y ear H 2 SO4 300 kg/y ear HC l 1700kg/y ear H PO 1700kg/y ear 3 4 HF 1200 kg/y ear 未來亦將光電業納入管制對象 未來亦將光電業納入管制對象 Center f or Environmental Saf ety Health Technolo Center f or Environmental Saf ety Health