光电自动对准系统介绍.pptx

光电自动对准方法 根据光学信息的传递及光电信号的转换方式，光电自动对准方法可分为: (1)光度式光电自动对准： ★透射式对准；　★标记反射式对准； (2)扫描式光电自动对准: ★机械扫描对准:振动狭缝和转动狭缝对准； ★激光扫描对准；　★图象扫描对准。 (3) CCD视觉式光电对准； (4)光栅衍射式光电自动对准: ★莫尔条纹；　　　★衍射光斑对准； (5)波带片式光电自动对准。 光电自动对准系统的组成 　　对一个完整的对准系统来说，应包括以下几个部分： (1)高质量的光学图像传递系统； (2)信噪比好的光电转换系统； (3)能提供高反差的对准标记； (4)实现　，　， 3个自由度的微位移机构； (5)高效率、高灵敏度的计算机处理与控制系统。 激光扫描式光电自动对准 激光扫描式光电自动对准特点是：用暗视场检测对准标记，可以消除来自掩模及硅片上的有害闪耀光斑，从而可获得信噪比很高的检测信号；用旋转镜扫描可实现高速、高精度自动对准，其对准精度在±0.3um以内。 自动对准过程是：首先用激光束扫描掩模和硅片上的标记，当激光束扫描过标记时，标记图形边缘产生的衍射和漫反射光被接收，变成脉冲，信号输出，脉冲信号经过微处理机的处理，计算出掩模和硅片之间的坐标偏差，其偏差信号驱动微位移机构，调整到两者对准为止。 　　对准过程中，标记位置判别及偏差量的计算方法如图2-11所示。其中W是硅片上的对准标记，M是掩模上的对准标记。 1-激光器；2-聚光镜；3-反射镜；4-透镜；5-滤波器；6-光电探测器；7-半透半反镜；8-物镜；9-分光镜；10-对准标记；11-硅片