第五章 L-EDIT_使用技巧.docVIP

4.3 集成电路自动设计工具软件掩模版图编辑操作 集成电路设计、模拟验证、版图编辑、自动布局布线 S-Edit为核心的集成电路设计、模拟、验证模块，包括电路图编辑器S-Edit、电路模拟器T-Spice和高级模型软件、波形编辑器W-Edit、Net Tran网表转换器、门电路模拟器GateSim以及工艺映射库、符合库SchemLib、Spice元件库等软件包，构成一个完整的集成电路设计、模拟、验证体系，每个模块互相关联又相对独立，其中S-Edit可以把设计的电路图转换成SPICE，VHDL，EDIF和TPR等网表文件输出，提供模拟或自动布图布线。 L-Edit为核心的集成电路版图编辑与自动布图布线模块，包括集成电路版图编辑器L-Edit和用于版图检查的网表比较器LVS等模块，L-Edit本身又嵌入设计规则检查DRC、提供用户二次开发用的编辑界面UPI、标准版图单元库及自动布图布线SPR、器件剖面观察器Cross Section Viewer、版图的SPICE网表和版图参数提取器Extract(LPE)等等，网表比较器LVS则用于把由L-Edit生成的版图反向提取的SPC网表和由S-Edit设计的逻辑电路图输出的SPC网表进行比较实现版图检查、对照分析。L-Edit 除了拥有自己的中间图形数据格式（TDB格式）外，还提供了两种最常用的集成电路版图数据传递格式（CIF格式和GDSII格式）的输入、输出功能，可以非常方便地在不同的集成电路设计软件之间交换图形数据文件或把图形数据文件传递给光掩模制造系统。 4.3.1 掩模原始子单元(Cell)图形生成 4.3.1.1 建立新文件(File) 执行 LEDIT批处理文件进入L-EDIT交互式图形编辑介面 进入 File/Merge Setup 打开预先建立的掩模图形设计环境文件LMK.TDB 进入 File/New 建立新创建图形文件的文件名，如YXYM001 注意: 建议所有文件名及单元名均采用大写字符 若修改已建立的图形文件 进入 File/Open 再输入文件名 4.3.1.2 建立新单元(Cell) 进入 Cell/New 建立新创建图形原始单元名，如YSDY001 。 4.3.1.3 设定单位 a） 进入 Setup/Technology 进行单位设置。 b） 首先确认单位选择 Other[Lambda] 设在内部单位模式。 c） 设置1个LEDIT内部单位等于多少用户设定的单位。 默认值为 1 Internal Unit (1／1) Lambda 表示 1个LEDIT内部单位等于 1个用户设定的单位。 1个LEDIT内部单位，默认值相当屏幕上 1格。 建议设置为 1 Internal Unit (1／1000) Lambda 即设置成1000个LEDIT内部单位等于 1个用户设定的单位。如果需要图形邻近效应校正，曝光图形需要尺寸再造(涨缩)，带有斜线或曲线图形一定要设置成1000个LEDIT内部单位等于 1个用户设定的单位。否则不能进行尺寸调整或不能保证制版精度甚至出现错位及台阶。 d） 设置数据输出时 1用户设定的单位等于多少微米 默认值设置 1 Lambda (1／1) Microns 即表示数据输出时 1用户设定的单位等于 1微米。也就是说设置1000格相当于 1微米。(表示屏幕显示 1格等于 1纳米)，这种设置可保证输出图形精度。 4.3.1.4 输出倍率设定 如果需要改变输出倍率(如×10倍输出)， 可在数据处理完成后存盘前修改为: 1 Lambda (10／1) Microns 即表示数据输出时 1用户设定的单位等于 1微米。 4.3.1.5 设定显示格栅和显示坐标小数点位置 a）??? 进入 Setup/Design/Grid 进行屏幕显示格栅设置。 b） 在格栅显示“Grid display”模块中 设置Displayed Grid= 100 Internal Unit 屏幕显示 1格等于 100个LEDIT内部单位 。 或者“Displayed”填充框中填入“0.100” Locator（标定单位-微米）。 c） “Suppress grig less 8 pixel”表示图形缩小到一个格栅只占显示屏幕 8个像素时，屏幕上不显示出格栅。 d）在鼠标与格栅关系“ Mouse grid ”模块中，选择鼠标指针“Cursor”运动方式： 选择“Snapping”