空腔型FBAR 功率容量的影响因素分析与优化 - 太赫兹科学与电子信息 .PDF

第 12 卷 第 2 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．12，No．2 2014 年 4 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Apr．，2014 文章编号：2095-4980(2014)02-0310-05 空腔型 FBAR 功率容量的影响因素分析与优化 1,2 2,3* 1,3 1 1 何 移 ，高 杨 ，周 斌 ，李君儒 ，何婉婧 (1.西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳 621010 ；2. 中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621999 ； 3.重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 400044) 摘 要 ：机械应力和自热效应是影响空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR) 功率容量的主要因素。 采用 ANSYS 对声波纵向振荡产生的机械应力进行了结构仿真，发现应力主要集中在空气腔结构附 近；对压电薄膜逆压电效应功率损耗产生的自热效应进行了热仿真，发现空气腔和支撑层阻碍了 热量向衬底传导。提出了提高器件功率容量的优化设计：为了减小应力集中，可以减小空气腔的 深度以限制声波振荡产生的纵向位移；为了提高散热能力，可以将空气腔的深度减小并选取导热 系数大的支撑层。优化设计的仿真验证结果表明：空气腔附近的应力集中面积明显减小，最大应 力值由 16.6 GPa 下降到 12.8 GPa ；同样施加6 mW 的功率，器件内部最高温度由 113 ° C 下降到 56 ° C ； 优化设计的空腔型 FBAR ，功率容量得到了显著提高。 关键词 ：薄膜体声波谐振器；功率容量；机械应力；自热效应；有限元分析 中图分类号 ：TN713+ .2 文献标识码 ：A doi ：10.11805/TKYDA201402.0310 Analysis and optimization of power-handling capability influence factors of the cavity-type FBAR 1,2 2,3 * 1,3 1 1 HE Yi ，GAO Yang ，ZHOU Bin ，LI Jun-ru ，HE Wan-jing (1.School of Information Engineering，Southwest University of Science and Technology，Mianyang Sichuan 621010，China； 2.Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China； 3.Key Laboratory of Optoelectronic Technology and System，Chongqing University，Chongqing 400044，China) Abstract： Me