六氟化硫物质常数.docVIP

六氟化硫SF6 1.别名·英文名 Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride． 2.用途 电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。 3.制法 在高温下硫和氟反应制得。 S+3F2→SF6 4.理化特性 分子量： 146.054 熔点(224kPa)： -50.8 升化点(101.325kPa)： -63.7 液体密度(-50.8)： 1880kg/m3 气体密度(0，101.325kPa)： 6.52kg/m3 相对密度(气体，空气=1，20，101.325kPa)：5.114 比容(21.1，101.325kPa)：0.1516m3/kg 临界温度： 45.5 临界压力： 3759kPa 临界密度： 736kg/m3 压缩系数： 温度 压缩系数 100kPa 1000kPa 2000kPa 3000kPa 15 0.9886 0.8656 50 0.9926 0.9137 0.8113 0.6760 熔化热(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg 气化热(-63.8，101.325kPa)： 161.61kJ/kg 比热容(气体，25，101