其他微结构加工方法.pptVIP

* * 图5.1-16 微结构增强剂的横截面缩微照片，节距尺寸是100μm 微结构可以通过热压纹加工，而压纹工具是使用十字交叉V形槽压入模板制造的，然后在微结构的空穴内填充X射线增强剂，这样就完成了微结构X射线强化屏的制造[见图5.1-16]。 * * 5.2 放电加工(EDM) 放电加上或火花腐蚀加工是一种功能强大、多用途的技术。利用这种技术可以加工出三维微结构，可以加工钢、硬金属等导电材料，也可以加工陶瓷、硅等材料。 EDM适用于刀具制造和样机零件的高精度加工，从加工性质来看，这种加工技术不适用于大批量生产，但这种技术适合于制造冲模、注塑成型的金属型芯和热压纹模。 在几年前，这种技术在微型制造中的价值已经得到了承认，在此期间也生产了各种各样的产品，特别是加工了在医疗中需要的三维钛-镍合金线。 * * 5.2.1 放电加工基础 EDM是工具映像到工件的物理过程，由于在工具电极和工件电极之间的放电，发生电腐蚀，物质被蒸发。 两个电极被浸泡在绝缘液中，在两个电极之间加上一定的电压，并且相互接近，当超过击穿电压时，在电极之间就建立了等离子通道，结果是电极材料被蒸发。 这个过程可分成三个基本步骤：开始阶段、放电阶段和结束阶段。 * * 在开始阶段，产生等离子通道，主电流集中在通道的表面区域，由电子轰击通道的阳极面，少量的材料被气化； 在放电阶段，等离子通道进一步发展，主