第一章电镜结构案例.ppt

电子显微分析 2007年11月 基本内容 1 电子光学基础 2 电镜的结构与成象 3 电镜中的电子衍射及分析 1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、指数标定、应用） 3）会聚书束花样 （原理、实验方法、指数标定及应用） 4 电镜显微图象解释 1）复形象 2）衍衬象 3）相位象 5 扫描电子显微术 6 X射线显微分析和俄歇能谱分析 第一章 电镜的结构与成象 1.1 光学显微镜的局限性 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中Δr0 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围介质的折射率 ——透镜对物点张角的一半（即透镜的孔径半角）， 称为数值孔径，用 N.A 表示,n最大为1.5,α最大为75度。 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点s1 、 s2 在象平面形成一s1’ 、 s2’圆斑（Airy斑，中心最亮，周围带有明暗相间同心圆环的圆斑）,而不是一个点。若s1 、 s2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 4）对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 1.3 电子透镜 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2）磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 目前，应用较多的是磁透镜，我们只是分析磁透镜是如何工作的。 1.4 电子波的折射 电子是带有负电的粒子，它们在静电场中会受到电场力的作用，使运动方向发生偏转。下图示意地说明了静电场对电子的折射作用。图中U1和U2为两个等电位区，且U1＞ U2，电场强度E的方向是U2 指向U1，而电荷所受到的力F则与E相反。 利用折射的原理可以使可见光和电子束聚焦。如果把平行的可见光通过一个凸透镜就会聚集在焦点上。按照同样的道理，我们把静电场的等位面也做成凸透镜状，那么平行的电子束也会聚集在一个焦点上。 四、成像透镜及其性质 1. 静电透镜 2、磁透镜 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜。 Ft使电子获得一个切向速度vt。vt随即和Bz分量叉乘，形成了另一个向透镜主轴靠近的径向力Fr使电子向主轴偏转(聚焦)。当电子穿过线圈走到B点位置时，Br的方向改变了180度，Ft随之反向，但是Ft的反向只能使vt变小，而不能改变vt的方向，因此穿过线圈的电子仍然趋向于向主轴靠近。结果使电子做如图8—1(c)所示那样的圆锥螺旋近轴运动。一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜时将被聚焦在轴线上一点，即焦点，这与光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦作用十分相似。 图8—2为一种带有铁壳的电磁通镜示意图。导线外围的磁力线都在铁壳中通过，出于在软磁壳的内侧开一道环状的狭缝，从而可以减小磁场的广延度，使大量磁力线集中在缝隙附近的狭小区域之内，增强了磁场的强度。为了进一步缩小磁场轴向宽度，还可以在环状间隙两边，接出一对顶端成圆锥状的极靴，如图8—3所示。带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。图8—3(c)给出裸线圈，加铁壳和极靴后透镜磁感应强度分布。 与光学玻璃透镜相似，电磁透镜物距、像距和焦距三者之间关系式及放大倍数为 场深（景深） 任何样品都有一定的厚度。从原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合，能在透镜像平面获得该层平面的理想图像。而偏离理想物平面的物点都存在一朵经程度的失焦，它们在透镜像平面上将产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜分辨率并不会产生什么影响。因此我们把透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深，用Df表示。 场深的关系可以从图1-6推导出来。在 的条件下，场深 这表明，电磁透镜孔径半角越小，景深越大。一般的电磁透镜 ＝10-2~10-3rad