201010605671-激光能量检测系统及检测方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102486406A* (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 102486406 A (43)申请公布 日 2012.06.06 (21)申请号 201010605671.2 (22)申请 日 2010.12.27 (71)申请人 北京国科世纪激光技术有限公司 地址 100192 北京市海淀区西小口路66 号 东升科技园北领地C 区7 号楼二层 (72)发明人 樊仲维 邱基斯 唐熊忻 张晶 张国新 (51) Int.C l. G01J 1/22 (2006.01) 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 1 页 权利要求书1 页 说明书4 页 附图1 页 (54) 发明名称 激光能量检测系统及检测方法 (57) 摘要 本发明涉及一种激光能量检测系统及检测方 法。该激光能量检测系统包括旋光器、偏振光分束 器和光导器，所述旋光器用于接受外部输入激光 并控制外部输入激光的偏振态，所述偏振光分束 器用于将所述旋光器输出的外部输入激光分解为 偏振态相异的工作激光和检测激光，所述光导器 用于导出所述检测激光，并通过测量所述光导器 导出的检测激光的能量强度来测定所述工作激光 的能量强度。所述激光能量检测方法具有快捷方 便、操作简单的有益效果。同时避免了在耦合接口 与放大器之间设置更多的检测装置，达到了节省 空间、降低成本的作用。本发明同时还提供一种激 光能量检测方法。 A 6 0 4 6 8 4 2 0 1 N C CN 102486406 A 权 利 要 求 书 1/1 页 1. 一种激光能量检测系统，其特征在于：其包括旋光器、偏振光分束器和光导器，所述 旋光器用于接受外部输入激光并控制外部输入激光的偏振态，所述偏振光分束器用于将所 述旋光器输出的外部输入激光分解为偏振态相异的工作激光和检测激光，所述光导器用于 导出所述检测激光。 2. 如权利要求1 所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述偏振光分束器包括第一 端口、第二端口、第三端口，所述第一端口用于从所述旋光器输入偏振态激光，所述第二端 口和所述第三端口分别输出偏振方向相互垂直的工作激光和检测激光。 3. 如权利要求2 所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述光导器为光导棱镜，包括 第一端口和第二端口，所述光导棱镜的第一端口用于从所述偏振光分束器的第三端口导出 检测激光，并通过光导棱镜的第二端口导出检测激光。 4. 如权利要求3 所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述光导棱镜为等边直角棱 镜，其第一端口和第二端口分别设置所述等边直角棱镜的二直角面上，其斜面用于全反射 检测激光，并从所述第二端口出射。 5. 如权利要求4 所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述光导棱镜的第一端口所 在的直角面贴合于所述偏振光分束器的第三端口所在的端面。 6. 如权利要求1 或5 所述的激光能量检测系统，其特征在于：进一步包括激光能量测 量装置，用于测量外部输入激光的初始能量、测量所述光导器导出的检测激光的初始能量 和实时能量。 7. 如权利要求1 所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述检测激光的能量小于所 述外部输入激光能量的1％。 8. 如权利要求6 所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述工作激光的实时能量满 足方程 ：I ＝I *I/I ，其中，I 为工作激光的实时能量，I 为外部输入激光的初始能量，I 为 E 0 1 E 0 检测激光实时能量，I 为检测激光