等离子体浸没注入对材料表面改性的研究.pdfVIP

指导小组成员名单： 吴晓京 教授 梁荣庆 教授 ● 摘要……………………………………………………………………………1 Abstract．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2 第一章前言…………………………………………………………………。3 1．1透明光电材料的研究进展…………………………………………………………3 1．1．1透明导电金属氧化物材料概……………………………………………………3 1．1．2透明导电金属氧化物材料的制备工艺…………………………………………4 1．1．3透明导电材料……………………………………………………………………5 ， 1．1．3．1崦03基透明导电材料…………………………………………………………5 1．1．3．2 ZnO薄膜材料…………………………………………………………………．7