阿达玛变换成像光谱仪编码模板的设计与制作_贾辉.pdfVIP

第30卷 第4期 光电工程 Vol.30, No.4 2003年8月 Opto-Electronic Engineering Aug, 2003 文章编号：1003-501X(2003)04-0053-03 阿达玛变换成像光谱仪编码模板的设计与制作 贾 辉， 李福田 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130022) 摘要：编码模板是阿达玛变换成像光谱仪的关键部件，用以代替入射狭缝和出射狭缝。根据编码 模板的构造原理，通过计算机生成二元伪随机序列码，用C语言根据编码方式生成图形文件，进 而光刻出编码模板。应用该方法可制作任意形状和大小，特别是码元数目较大的编码模板，能实 现高分辨率的编码。 关键词：阿达玛变换成像光谱仪；编码模板；光刻 中图分类号：TH744.1 文献标识码：A Design and fabrication of encoding template for Hadamard transform imaging spectrometer JIA Hui, LI Fu-tian (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun 130022, China) Abstract: Encoding template is a key component of Hadamard transform imaging spectrometer. It is used to substitute the incident slit and exit slit. According to the structural principle of the encoding template and generating binary pseudo-random sequential code by computer, pattern file is generated with language C based on encoding mode, thus the encoding template is lithographed. The encoding template with any shapes and sizes, especially the encoding template with larger code elements can be fabricated. In this way high-resolution encoding can be carried out. Key words: Hadamard transform imaging spectrometer ；Coding template ；Lithography 引 言 阿达玛变换成像光谱仪最早起源于 Golay[1] 的多狭缝静态光谱仪，主要是为了增加光谱仪的入射光通 [2] [3] 量而采用了多狭缝，后来狭缝采用动态调制码 ，逐渐形成了阿达玛变换成像光谱仪 。它可同时对被测 物体进行成像分析和光谱成份分析，具有入射光通量大，测量信噪比高的优点。在阿达玛变换成像光谱仪 [4] 中，编码模板 是关键部件。最初模板的制作是在玻璃上镀上一层铜，然后刻划出对应于循环码的条形码 [5] ，伪随机序列码是采用触发电路来发生的。随着计算机的广泛应用，镀膜技术、光刻技术的提高，使阿 达玛变换成像光谱仪