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2006
2006年7月 润滑与密封 July
LUBRICATIONENGINEEmNG
第7期(总第179期) No．7(serialNo．179)
物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测
高玉周张会臣王亮
(大连海事大学机电与材料工程学院辽宁大连I16026)
摘要：采用物理气相沉积工艺在高速钢表面沉积TiN薄膜，研究了TiN薄膜的疲劳磨损过程。采用原子力显微镜
(AFM)观测分析了表面疲劳点蚀的形貌特征。试验结果表明：较厚TiN薄膜具有较低的疲劳磨损寿命，而较薄的TiN
膜层具有较高的疲劳磨损寿命。在试验的初始阶段，磨损轨迹上都出现大量显微凹坑，AFM观测分析可知显微凹坑起
源于薄膜表面，呈菱形状。随试验的进行，较薄的TiN薄膜出现典型的疲劳麻坑，而较厚的TiN薄膜在薄膜与基体的界
面处形成疲劳裂纹，并出现严重的剥层和断裂。
关键词：滚动疲劳试验；TiN薄膜；疲劳磨损
中图分类号：THll7．1文献标识码：A文章编号：0254-0150(2006)7—068—3
AFMObservationof Surface ofTiN·
Fatigue Images
ThinFilms
byPhysicalVaporDeposition
GaoYuzhou Huichen
Zhang WangLiang
andMaterials Maritime
(Electromechanics University，Dalian116026，China)
EngineeringCollege，Dalian Liaoning
wear ofTiNhard onthesurfaceof speed ion
Abstract：Fatigueperformance coating hirgh steel(HSS)bysputtering
was atomicforce resultsshowthatthinnerTiNhard
process microscope．Theexperimental
deposition investigatedusing
are of inthe track
isfoundto thebetter wear a number
coating provide large micro—pitsroHing
fatigueperformance．There
some
intheinitial of wear．ForthinnerTiN becomeand of connectwith
larger
stagef
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