第十章 半导体物理实验教材.pdfVIP

自编经典教材目录 一、 半导体物理实验指导书 1.实验的地位、作用和目的…………………………. 4 2. 实验一 单晶硅少子寿命测试…………………………5 3. 实验二 半导体方块电阻的测量…………………………9 4 .实验三 半导体电阻率的测量…………………………12 二、 微电子器件实验指导书 1. 实验的地位、作用和目的…………………………16 2. 实验一 测量双极晶体管的性质……………………17 3 实验二 晶体管特征频率的测量……………………19 4 实验三 测量双极晶体管的击穿特性…………………22 三、 集成电路工艺实验指导书 1 实验的地位、作用和目的……………………24 2. 实验一 氧化工艺实验……………………26 3. 实验二 光刻工艺实验……………………28 4 、实验三 硼扩散工艺实验……………………31 5. 实验四 磷扩散工艺实验……………