被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用 - 强激光与粒子束.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ ２ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．２ 　 　 年 月 ， ２０１０ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ． ２００９ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１００２０３１９０４ 　 被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用 １２ １ １ １ 汉 语 ， 伍 凡 ， 万勇建 ， 房 凯 　 　 　 　 　 　 （ 中国科学院 光电技术研究所，成都 ； 中国科学院 研究生院，北京 ） １． ６１０２０９ ２． １０００３９ 　 摘 要： 介绍了一种去除中频误差的有效工具 被动半刚性磨盘。被动半刚性磨盘由刚性基底、变形 　　 　 　 层、薄板层以及抛光层组成。这种特殊的夹层式结构使磨盘在平滑过程中具有高通滤波特性，因而能够有效去 除中频误差。基于弹性力学和滤波器理论，分析了被动半钢性磨盘的平滑机理，讨论了磨盘基本参数和误差频 率之间的相互关系。以一块表面具有明显中频误差的抛物面镜为实验件，对被动半刚性磨盘的平滑能力进行 验证，经过 个周期（共计 ）的平滑后，中频误差得到了有效抑制。 ２ ７５ｍｉｎ 关键词： 光学加工； 被动半刚性磨盘； 应力分析； 中频误差； 非球面 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＱ１７１．６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ０３１９ 　　 　 　　　　 　 　　　 强光光学系统对光学元件表面质量的要求极其严格，不仅要求达到很高的面形精度，而且对中频误差（波 　　 纹度误差）也提出了控制要求。中频误差是强激光系统中引发非线性自聚焦的重要原因，对激光系统的安全运 行存在着很大的危害，必须将其控制在一定范围内。目前国内外大口径、高精度非球面光学元件的加工主要采 用计算机控制光学表面成型技术（ ），虽然该方法具有高精度、高效率以及不受面形误差分布影响等优 ＣＣＯＳ 点，但是由于ＣＣＯＳ技术的子口径修磨加工特性以及该技术所采用的刚性磨头与被加工零件表面不吻合等原 ［ ］ １４ 因，导致了利用 ＣＣＯＳ技术所获得的非球面光学元件表面通常带有明显的中频误差 。对于中频误差的处 理，通常采用的方法是用与被加工非球面顶点曲率半径和口径相近的胶盘对工件表面进行平滑，这种方法利用 沥青的流动性来保证工件表