图像边缘检测在集成电路晶圆片探针测试中的应用.pdfVIP

图像边缘检测在集成电路晶圆片探针 测试中的应用 张晓生，胡泓 (哈尔滨工业大学深圳研究生院，广东深圳510085) Wafer Detection fortheAutoProber The ImageEdge Methodology System 珊ANGⅪ∞一蜘，删Ho雌 (Shenzh∞Grad岫tesch∞l，HarbinI∞tituteof 510085，Clli衄) Technology，She犯hen 摘要：比较了几种常用的边缘检测算法，选择较 误差的存在，晶圆片从料盒成功送到承片台上后，往 为合适的Laplacian边缘检测算子，配合最小二乘往不能使晶圆的圆心和承片台圆心重合，而因为测 法，最终应用在全自动探针台中，精确计算晶圆片圆 试的过程是以承片台为基准的，即认为承片台的圆 心坐标。实验数据表明，该算法能满足探针台中的 心即是晶圆的圆心，这就导致测试过程中的漏测或 测试要求。 多测现象。如果能精确地计算出晶圆圆心的实际坐 关键词：图像边缘检测；最小二乘法；自动探针 标，在探测的过程中以晶圆圆心的实际坐标为基准， 台 则能很好地避免这一缺点。 中图分类号：TP391．4 1 图像边缘检测算法 文献标识码：A 对于灰度图像边缘的定义是周围像素灰度有阶 文章编号：1001—2257(2008)12一0031一03 Abstr躯t：The focuson 跃变化或屋顶变化的像素的集合。因此边缘可以粗 papermainly compa— several ofthe 略地分为阶跃形边缘和屋顶形边缘2种。一般认为 detection，and ring algorithmsedge then the detectorandleast沿边缘走向的灰度变化较为平缓，而垂直边缘走向 apply Laplacianedge method of 的灰度变化剧烈。对于阶跃形边缘，二阶方向导数 to thecentercoordinates square compute thewaferinthe 在边缘处呈零交叉；对于屋顶形边缘，二阶方向导数 prober system．Theexperiment this 在边缘处取极值[幻。 showsthat canmeetthe methodology request ofthe system． 1．1 Robert边缘检测算子 prober detection；least Roberts边缘检测算子根据任意一对互相垂直 Keywords：imageedge square 方向上的差分可用来计算梯度的原理，采用对角线 method；autoprobersystem 方向相邻两像