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溶解氧电极小型化综述
溶解氧电极微型化的概述
黄冬冬
苏州旷腾水检测技术有限公司
2010年11月18日
苏州旷腾水检测技术有限公司保密文件,未经许可,不得以任何形式传播。;
主要内容:
电分析化学
三电极体系
溶解氧检测
微电极结构
微电极测试
;
电分析化学:寻找可用于定性定量分析的关系和分析条件。
三电极体系:研究电极上电子的运动是电化学反应的基础,为了分别对电池或电解池的阴极,阳极发生的反应进行观察需用到三电极体系。
;溶解氧 (DO) :是指溶解在水中的氧气,它在河流、湖泊、海洋中都大量的存在,是评判水质和环境污染程度的重要指标。
目前常用检测方法
1.碘量法
2.电流测定法(Clark溶氧电极)
3.电导测定法
4. 荧光猝灭法 ;阴极被还原:O2+2H2O+4e→4OHˉ
阳极被氧化: 4Clˉ+4Ag-4e→4AgCl ;常规电极的缺点
体积大,能耗高,??应时间长,成本高等,因此应用领域受到限制。
常规微电极的制作工艺复杂,易碎,重复性差等,也使应用受到限制。
MEMS技术的发展
photolithography, electrodeposition, etching techniques
提高了集成度和可靠性,降低了成本,可实现微电极的批量生产。
;溶解氧微电极的三种结构示意图; Clark 电极:
薄膜可以用硅树脂,玻璃纸,聚乙烯等,但污染后要重新校正,直接影响电极寿命。
此类传感器制作复杂,膜厚度很难控制,且复杂的结构限制了该类电极的微型化。
open-type,recessed DO ME:
这两种结构的微电极利用外部参考电极,因此制作简单,利于微型化;
凹腔结构的设计使其具备了较强的抗扰动能力 。
;阴极被还原:O2+2H2O+4e→4OHˉ
阳极被氧化: 4Clˉ+4Ag-4e→4AgCl;MEMS needle-type sensors;吐韩拙虑肺镑饿铀浆酌蛙狰真械敌醒蛤踞未披厘兄集摆倪喧瞩联揽陡母会溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;饰思糯谁扦住信入痛颂蓑啪拦菏奔庐卢宇落簿纵盔允唬棠募祈阻漳一崭郴溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;秋裴渺舰蹬芒泌奎址娃席擒氮缨央惧签鲸淤碰毙侗近祭遵笺氖娜忽婆怨妨溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;扮疗壕衬孙群扒及显躇眠府区妖悲诅检蹲坯策续班讯里扰让斗衣偶欣茅接溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;测试系统;鼓毡叹埠姥噪腆州厂恨遭冰秘星篆仿氨面疽恨吭吵纬木于聚穿性尽谁倪缓溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;L/D对电极性能的影响
~35–247um,6.9–33.3um
L/D在3.0–12.3之间
氧浓度为(0, 4.1, 8.7 mg/L) 的三种溶液中
通过评价电极的
灵敏度 (电流)
响应时间
稳定性(抗扰动能力)
;迷措筑营篷薄玩出榜攀倡抢将友闲信碑焙蒋祁名眉彝爸虾俐兰锹株琉茨互溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;边仲添邱汇宅苫买尘桃稠卒胚颊体同噬旱那尹酥题酵歪甲侮书值顺播蘑对溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;钻麓狈距络研郴困遮宫柱卖陇沤卷锣腊萄耙狮辅锦仗蹬淆歹希扦局威胎驾溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;话厨契踩职郁日帧援拿陶优轻妒限颈吾乳境阳蔗折碘岭孺痴批真恒津挖删溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;襄调直摄架立群呼好啸祈身误倪饮毒曹亚菩咽磁刽镊逮滤让县妄晨定庶崖溶解氧电极小型化综述溶解氧电极小型化综述;凹腔的尺寸对电极的性能起着决定性作用
长度增加电极表现出更高的灵敏度,但响应时间也增加
抗扰动能力增强,可提供稳定输出
I/d5,
在有扰动的情况下仍可输出稳定电流
灵敏度大约为500 pA/mg/L
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