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第三章 测量模块 第一节 机械量传感器分类 第二节 性能指标： 工作特性 1.性能：量程、阈值、分辨率、灵敏度 2.质量：可靠性、漂移 3.环境影响：环境温度、环境压力等 静态特性 精度、误差、重复性、可复现性、线性度 动态特性 1.时域指标：上升时间、峰值时间、最大超调量、调整时间、延迟时间、振荡次数 2.频域指标：谐振角频率、谐振频率、复现频率、闭环截止频率 性能要求与改善措施 性能要求： 1.量程足够、灵敏度高 2.精度适当、线性度好 3.响应时间短，通频带宽 4.稳定性好，具有一定的过载能力 5.经济实用，成本低，寿命长 改善措施： 1.差动技术 2.平均技术 3.稳定性处理 4.屏蔽、隔离，抑制电磁干扰 5.闭环技术 第三节 位移传感器 包括线位移传感器和角位移传感器 如：电位计、电涡流传感器、电容传感器、差动变压器、感应同步器、光栅等。 第三节 位移传感器 旋转变压器 是一种输出电压随转子转角变化的角位移测量装置。 辐值与转子转角θ的余弦或 正弦成正比： 第三节 位移传感器 感应同步器 第三节 位移传感器 光电编码器 第三节 位移传感器 光栅 透射光栅和反射光栅两种，用于大量程线位移或360度内角位移的测量。 第四节 速度传感器 第五节 加速度传感器 力学模型：F=ma 微加速度传感器：电容式、压阻式、压电式。 第五节 加速度传感器 压阻式微机械加速度计 压阻效应：当对半导体的某一晶向施加压力时，其电阻率就会发生一定的变化，这种现象称为压阻效应。 第五节 加速度传感器 加速度计的敏感质量与压电晶体相连，当输入加速度时，加速度通过敏感质量形成的惯性力加在压电晶体上，由于压力作用产生的电荷，通过电荷放大电路输出与输入加速度的成比例电压。 压电式加速度计对于低频乃至静态的加速度信号敏感性很差 第六节 力、转矩和压力传感器 由弹性敏感元件把力、转矩、压力等被测参数变换成相应的位移或应变（每单位长度产生的位移），然后，再配合各种形式的转换元件转换成电信号输出。 弹性敏感元件直接起测量作用，要求其弹性变形范围大，灵敏度高以及测量频带宽。 电阻应变式、压电式、电容式 电阻应变式 应变片力传感器的测量范围很大，可以从5N~10MN以上，且能获得很高的测量精度，其精度等级位于0.03%~2%之间。 应变片力传感器由弹性变形体元件和应变片构成。 电阻应变效应：金属电阻丝随机械变形（伸长或缩短）其电阻值发生变化，这种现象称为电阻应变效应。 压阻式 压阻式力传感器是利用半导体的压阻效应工作的。 固态压阻式传感器的工作原理是在半导体材料的基片上扩散电阻制成的，基片直接作为测量传感器元件。 特点是体积小，机械滞后小，灵敏度高，测量范围大，易制成智能化传感器，但有较大的非线性误差和温度误差，需采取温度补偿措施。 压电式 压电式传感器的工作原理是以压电元件的压电效应为基础。 压电效应：某些晶体（例如石英晶体、压电陶瓷）沿一定方向受外力作用而变形时，在其相应的两个相对表面产生极性相反的电荷，当外力丢掉后，又恢复到不带电的状态，这种物理现象称为压电效应。 压电传感器的线性度好，频响范围宽，重复性良好。 压电力传感器较易敏感侧向负载。 压电效应是可逆的。 电容式 电容式传感器是将被测力的变化转换为电容量变化的一种传感器。 第七节 霍尔式电流传感器 霍尔效应：当金属或半导体薄片置于磁场中，有电流流过时，在垂直于电流和磁场方向上将产生电动势，这种物理现象称为霍尔效应。 第七节 霍尔式电流传感器 霍尔式电流传感器是一个把电流转换成电压的传感器，电流环路对于电流的检测要求很高，一是要求转换后的电压与主回路是隔离的，以便把强电回路与弱电回路分开；二是要求把电枢的电流线性地转化成电压信号。 第七节 霍尔式电流传感器 主要检测方式 1.霍尔元件直接检测电流：适用于大电流测量 2.霍尔检零式测量电流：适用于直流小电流的测量 第八节 信号调理电路 传感器的信号处理 典型测量系统的组成 第八节 信号调理电路 信号调理的目的：隔离、阻抗变换、噪声抑制、放大及变换等。 信号调理专用集成电路：ASIC芯片 传感器的输出信号往往很微弱，且波形不适当，不 能直接用于工业系统的状态显示和控制。 信号调理电路就是对传感器的输出信号施行一定预 处理的装置。 如：电压放大、电流－电压转换、整形、频率－电 压转换等，使信号适于显示或控制的要求，而 这些电路通常要用到集成运算放大器。 运算放大器 运算放大器是信号调理电路的常用器件，掌握运算放大器的特性及其工作方式，对于掌握信号调理电路的工作原理非常重要。 运算放大器是一个集成电路芯片，将其连接成不同的工作方式