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电子回旋共振离子源等离子体的密度测量.pdf

第l9卷 第12期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1.19,NO.12 2007年 12月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Dec.,2007 文章编号: i001—4322(2007)12—2095—04 电子回旋共振离子源等离子体的密度测量 袁宇飞 。, 蒙 林 , 周长庚。, 胡永宏。, 张钦龙。 (1.电子科技大学物理电子学院,成都610054; 2.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川绵阳621 900) 摘 要: 诊断电子回旋共振离子源等离子体的传统方法是采用传统的单探针无发射时测量伏安曲线,并 根据曲线的拐点由理论公式计算出的等离子体密度。本文设计并研制了等离子体密度的测量装置。采用单根 朗缪尔探针(该探针可以用来发射电子)测量等离子体的伏安特性。在探针有发射和无发射两种状态下测量得 到两条伏安曲线,根据这两条曲线的”分叉点”得到等离子体电位,然后根据该电位直接由计算机计算出电子温 度、电子密度。采用该新方法,测量得到的等离子体参量空间电位约为17 V,悬浮电位约为一5 V,电子温度约 为4.4 eV,离子密度为 1.10×lO“cm~,与传统方法计算出的等离子体 1.12×lO“cm 相比,两者相差仅 1.8 ,但新方法效率和精度更高。 关键词: 电子回旋共振离子源; 等离子体密度; 朗缪尔探针; 等离子体电势; 离子束流 中图分类号: 0536 文献标识码: A 电子回旋共振(ECR)离子源是一种无阴极源,具有电离度高、束流强度大、气压低、性能稳定等特点,是一 种高密度低气压等离子体源,能够在较低的气压下产生大面积均匀的高密度等离子体。在中子发生器中采用 ECR离子源是一种新的尝试-】]。近年来,人们对ECR开展了许多应用研究,尤其在高强流的离子注入、离子 刻蚀、离子束溅射沉积、离子束材料改性、半导体生产工艺以及离子化学等各个方面中,ECR等离子体以其优 良的特性得到了广泛的应用-2。]。 本研究通过把2.45 GHz微波经过3层微波输入窗馈入等离子体放电室,当电子回旋频率和馈入的微波 频率相等时,发生电子回旋共振现象,电子获得能量,不断碰撞气体(H ),从而产生高密度的等离子体-】 ;在此 基础上,通过引出系统(主要是由引出、抑制和加速3个电极组成)形成一定强度的离子(氘)束流。为了深入研 究等离子体密度对离子束流的影响,使用单根朗缪尔探针(该探针可以用来发射电子)测量等离子体的伏安特 性,并计算得出等离子体密度、电子温度等重要参量。 1 理论基础 朗谬尔探针是低压弱电离等离子体应用最为广泛的等离子体诊断工具,自从 1926年H.M.Mott—Smith 和I.Langmuir研制出最早的朗谬尔探针以来,人们对其不断进行改进,以扩大其应用范围并提高其测量精度。 通常朗谬尔探针由一个插入到等离子体中的金属电极和相应的测量电路组成。金属电极的体积尽可能小,以 减小探针对等离子体造成的干扰。在电极上施加一个直流电压并在一定范围内(如一5O~+50 V)改变其电 压值(如每增加0.1~O.2 V),采集探针上的电流数据,得到伏安(V-I)特性曲线。应用合适的计算公式,可以 从特性曲线中求得等离子体主要特性参数值【4]。 观察 J特性曲线可以得到等离子体悬浮电位( )、空间电位( 。)和电子饱和电流(J 。),根据公式计算 出等离子体的电子温度(To)、离子( i)和电子密度( 。)等参量。 1.1 电子温度 在过渡区,探针电流J 与鞘层电场( 一V。 )之间是指数函数关系,即 卜 leoexp[ ] 式中:I ,I,分别为电子和离子电流;e为电子的电荷量,V。为探针电位。对式(1)取对数可得 定 卜。 l吐。 1 *收稿日期:2007—06—1 5; 修订日期:2007—10—26 基金项目:国家863计划项目资助课题 作者简介:袁宇飞(1978 ),男,硕士研究生,主

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