磁芯螺线管微电感的计算机模拟.pdfVIP

第41卷第 11期 上 海 交 通 大 学 学 报 VoI_41 NO．11 2007年 11月 JOuRNAL OF SHANGHAI JIA0T0NG UNIVERSITY NOV．2007 文章编号：1006—2467(2007)11—1867—04 磁芯螺线管微电感的计算机模拟 郭绍寅， 周 勇， 周志敏， 曹 莹， 丁 文 (上海交通大学 微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家级重点实验室， 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030) 摘 要：采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型，并对交流载荷下的微电感进 行了模拟．通过与磁芯厚度为1O、2O、3O和40 m的微电感的实验结果对比，表明该物理模型能够 较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗，进而可计算微电感的电感量和品质因子．模拟结果与 实验符合较好． 关键词：螺线管；微电感；磁芯；物理模型 中图分类号：TN 602 文献标识码：A A Physical Model of Solenoid Micro Inductor with Magnetic Core GUO Shao—yin， ZHOU Yong， ZHOUZhi—rain， CAO Ying， DING Wen (National Key Lab．of Nano／Micro Fabrication Technology，Key Lab．for Thin Film and Micro Fabrication of Ministry of Education，Inst．of Micro／Nano Science＆ Technology，Shanghai Jiaotong Univ．，Shanghai 200030，China) Abstract：This paper presented a physical model of a solenoid micro—inductor with magnetic core on the basis of electromagnetic theory．In this model，the properties of micro—inductor at MHz are simulated，and compared with the experimental results for a solenoid micro—inductor with a core thickness in 10，20，30 and 40 um，respectively．The results show that the model can simulate the major power loss of microin— ductor，which can be used to calculate the inductance and quality factor of micro—inductor．The calculated results agree with the experimental data wel1． Key words：solenoid；micro—inductor；magnetic core；physical model 在各种电子线路中，磁性器件如电感器件以及 模拟也成为微电感器件研究的重要组成部分． 由其构成的电源变压器、DC—DC变压器、振荡器、滤 作为微电感器件的设计，其物理模型主要针对 波器、放大器和调谐器等是电子线路中不可缺少的 各种平面螺旋电感，方法有分段等效电路法(Partial 重要元器件．近年来，随着电子产品的小型化、微型 Element Equivalent Circuits，PEEC)_】]、7c型集总参 化发展，高性能的微型化、集成化电感器件成为国内 数等效电路[2 和2丌型集总参数等效电路 T