牦犡 700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟 - 光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １ Ｊａｎ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００１００４５０７ 　 犛犡７００单色器光栅正弦机构转角 重复精度的模拟分析与测量 ， ， １２ １ ３ ３ １ １２ 吴 坤 ，薛 松 ，卢启鹏 ，彭忠琦 ，陈家华 ，刘 楷 　 　 　 （ 中国科学院 上海应用物理研究所，上海 ； 中国科学院 研究生院，北京 ； １． ２０１８００２． １０００４９ ３．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３） 摘要：为了使上海光源（ ）研制的 单色器的主要设计指标———波长扫描转角重复精度满足优于 的要 ＳＳＲＦ ＳＸ７００ ０．４３″ 求，研究了单色器的波长扫描组件—光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时，运用有限元分析软件 ＡＮ ＳＹＳ对光栅正弦机构进行数值模拟计算，并根据模拟结果对光栅正弦机构的转角重复精度进行了误差分析，得到的转角 重复精度为 ０．２８″。依据分析结果制定了工程设计方案，并成功加工、装配了ＳＸ７００单色器。利用作者建立的一套由光 电自准直仪组成的测试系统对光栅正弦机构的转角重复精度进行测试，实测精度为 ０．１５″。结果表明，设计的ＳＳＲＦ的 ＳＸ７００单色器光栅正弦机构的转角重复精度满足设计要求。 关 键 词： 单色器；正弦机构；转角精度；数值模拟 ＳＸ７００ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７４４．１ Ａ 　　 犛犻犿狌犾犪狋犻狅狀犪狀犪犾狊犻狊犪狀犱犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狉狅狋犪狋犻狅狀犪狀犾犲狉犲犲犪狋犪犫犻犾犻狋犳狅狉 狔 犵 狆 狔 狉犪狋犻狀 狊犻狀犲犿犲犮犺犪狀犻狊犿狅犳犛犡７００犿狅狀狅犮犺狉狅犿犪狋狅狉 犵 犵 ， ， １２ １ ３ ３ １ １２