光电业沸石浓缩转轮处理系统效率提升改善实例探讨 - 财团法人中技社.pdf

光電業沸石濃縮轉輪處理系統效率提升改善實例探討 廖大惟 * 、張豐堂** 、沈克鵬*** 、粘竺耕**** 、葉智雄**** 、林華宇***** 摘 要 光電產業揮發性有機廢氣(V OCs l aden ai r)之排放濃度及風量都普遍高於 半導體業，其中又以次世代之 TFT-LCD 面板製造製程為最大 VOC s 排放來 源 ，目前國內 TFT-LCD面板製造之 VOC s廢氣最常用之處理方法為沸石濃縮 轉輪處理搭配熱焚化爐，此一技術已於國內發 展近十年，目前於國內半導體 及光電產業應用最為普及，處理技術也隨業者 經驗累積及設備精進而日益提 昇，然對於許多新興製程的使用，陸續產生系 統效率穩定性的問題，許多業 者也面臨效率不明原因降低的考驗 ，本論文主要探討光電業中 TFT-LCD面板 製造製程之 VOCs 廢氣沸石濃縮轉輪處理系統面臨效率問題，藉由工業局污 染防制輔導資源，結合業者及承商經驗，共同 找出效率降低原因，並提出具 體改善方案 ，終 至恢復沸石濃縮轉輪處理系統原有期望效率 ，解決業者問題 ， 並同時協助業者調整操作參數，有效降低系統燃燒爐之瓦斯用量，節省燃燒 費用，將此改善流程及方法提出，期提 供給相關業者做為參考案例。 【關鍵詞】1. VOCs 2.沸石濃縮轉輪處理系統 3. 效率提升 4.TFT -LCD *友達光電 工程師 ** 華懋科技公司 副總經理 ***工研院環安中心 經理 ****中技社綠色技術發展中心 工程師 *****經濟部工業局永續發展組 秘書 89 The case study for the improvement and enhancement of efficiency for the honeycomb zeolite concentrator treatment system in TFT-LCD industry T. W. L i ao * 、F. T. Ch ang** 、Dr . K. P. Shen*** 、C. K . N i en**** C. S. Yeh**** 、H.Y. Li***** Abstract The disch ar g e conc entrat ion and volum e of VOC-l aden air in T F T-LCD industry is generally high er than which in semi -conductor industry, especially for t h e TFT-LCD pl at ma nufa ctu ri ng pr oc es s of sec ond generation m ay be th e m ajor em ission source. The mo st comm on used VOC abatement method is to in stall the VOC concentr ator tr eatment syst em alo ng w ith h e at in cinera tor ; th is technology has been applie d in this decad e and adop ted by th e TFT-LCD and the sem i -conductor industries mo stly. As l ong as the a