薄膜材料和薄膜技术教学大纲.docVIP

《薄膜材料与薄膜技术》课程教学大纲 一、《材料制备技术》课程说明 （一）课程代码（二）课程英文名称：Thin Film Materials and Thin film Technology （三）开课对象：物理系材料物理专业 （四）课程性质： 本课程是材料物理专业的一门专业选修课。 （五）教学目的 本课程主要介绍薄膜材料的制备及特性。通过学习既可以掌握一些薄膜物理的基本知识，同时也能了解该领域内当前的一些前沿研究进展，开阔眼界，这些都有利于学生将来更好的投入科研工作中去。 （六）教学内容： 本课程主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。其中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法，包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。同时介绍了薄膜的形成，薄膜的结构与缺陷，薄膜的电学性质、力学性质、半导体特性、磁学性质以及超导性质等。 （七）学时数、学分数及学时数具体分配 学时数：36 学分数：2 学时数具体分配： 教学内容 讲授 实验/实践 合计 第一章真空技术基础 4 4 第二章真空蒸发镀膜法 4 4 第三章溅射镀膜 4 4 第四章离子镀膜 2 2 第五章化学气相沉积 4 4 第六章溶液镀膜法 4 4 第七章薄膜的形成 4 4 第八章薄膜的结构与缺陷 5 5 第九章薄膜的性质 5 5 合