石英晶振共振频率和品质因数的研究 - 复旦大学物理教学实验中心 .pdfVIP

石英晶振共振频率和品质因数的研究 刘方泽 （复旦大学物理系，上海 200433） 摘要：石英晶振作为原子力显微镜的力感应器件，其共振频率和品质因数是最重要的两个参数，本 文利用虚拟仪器技术对晶振共振频率和品质因数进行了测量，并成功地用电容补偿的方法消除了晶 振中并联电容的影响，为调频原子力显微镜的研制提供了指导。 关键词：石英晶振 共振频率 品质因数 LabVIEW 1 引言 石英晶振在近些年来作为力感应器件 已被广泛应用于调频(FM)原子力显微镜 [1] [2] [3] (AFM) ，磁力显微镜(MFM) 以及磁力测定 等技术中。具有压电效应的石英晶振的共 振频率与其受到的外力成比例，微小的外力变化可直接转化为频率信号，与传统AFM借助激 [4] 光感应外力相比更加准确方便，并可应用于低温和液体环境当中 。 虚拟仪器(Virtual Instrument)是目前世界流行的一种仪器构成方案，它通过开发测试软 件将计算机与具有标准接口的硬件模块结合起来构成仪器系统。虚拟仪器的结构是开放式 的，它的功能可根据用户自身需要而定制。与传统仪器相比，虚拟仪器提高了仪器资源的 通用性、可靠性和测量精度，并极大的节约了设备成本[5] 。  LabVIEW(Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench) 是美国国家仪器公司 (National Instruments，NI)推出的虚拟仪器开发软件，VI也是LabVIEW首先提出的创新概念。 经过二十余年的发展，LabVIEW 已成为目前十分流行的虚拟仪器软件开发平台。  本文利用LabVIEW测量晶振的共振频率和品质因数，并通过实验手段消除了并联电容对 共振曲线的影响，为以后开发调频原子力显微镜提供了指导。  2 测量原理及方法 2.1 石英晶振的电气特性 当外加交变电场的频率等于其固有频率时，石英晶片产生机械共振，弹性振动通过压 电效应与电气系统相藕合，其效果相当于由电感、电容和电阻构成的共振电路。因此，石 英晶振在共振频率附近可用RLC等效电路来描述[6]，如图1。L 、C、R称等效动态参数，构 成等效电路的动态臂；C 是并联电容，构成并联臂，它代表石英片两电极之间的静电容。 0 5 当频率比较低时(100M Hz 以下) ，L 、C、R和C 是描述石英晶振的四个基本参数，L 由10 H (低 0 1.2 Im I 0.8 m l a n 2 g i