3.生物医学传感电阻传感器.ppt

* * 由于微电子技术的进步，四个应变电阻的一致性可做的很高，加之计算机自动补偿技术的进步，目前硅压阻传感器的零位与灵敏度温度系数已可达10-5/℃数量级,即在压力传感器领域已超过温度系数小的应变式传感器的水平。 * * MPX4100A系列集成硅压力传感器 * * 应用－－三角翼表面压力测量 * * 压阻式加速度传感器 悬臂梁单晶硅衬底采用（001）晶向，沿[110]与 [110]晶向分别扩散二个(P型)电阻条 基座 l b h [110] [110] m：质量块的质量(kg) b,h：悬臂梁的宽度和厚度（m） l：质量块的中心至悬臂梁根部的距离（m） a：加速度(m/s2) 生物医学应用实例 呼吸气流传感器 弹性电阻应变式传感器 肌肉力传感器 心内导管压阻式压力传感器 针式压力传感器 为了方便长期观察或监护，往往需要将一些微型压力传感器植入人体或动物体内，通过压力传感器和发射机将被测参数传输出来。这种微型传感器常常用压阻元件构成。 植入式压力传感器 * * 微机电系统的微细加工技术 微细加工技术是利用硅的异向腐蚀特性和腐蚀速度与掺杂浓度有关,对硅材料进行精细加工,制作复杂微小的敏感元件的技术。 1) 体型结构腐蚀加工 体型结构腐蚀加工常用化学腐蚀（湿法）和离子刻蚀（干法）技术。 2)表面腐蚀加工——牺牲层技术 该工艺的特点是利用称