超精加工表面DIC测量方法研究.pdfVIP

2007年第6期 九江学院学报 (总第143期) No，6，2007 Journal of jiujiang University (Sum NO 143) 超精加工表面DIC测量方法研究冰 杨险峰 蔡少虬 (九江学院机械工程学院 江西九江 332005) 摘要：微分干涉相衬显微技术能够实现对超精加工表面光学方法测量。本文对偏振分 光棱镜进行了理论分析，简化了其设计过程，选用了合理的材料，完善了系统结构。 关键词：微分干涉相衬；偏振分光棱镜；相干平面 中图分类号：TH 74 文献标识码：A 文章编号：1673—4580(2007)06—0044一(03) 对于超精加工表面质量进行检测和测量，一 光学系统要求，物镜的后焦面应与棱镜寻常光 (0 般需要采用非常昂贵的电子显微设备。微分干涉 光)及非常光 (e光)会聚形成的相干平面重合。 相衬 (DIC)显微测量系统具有纳米级分辨率， 可以看到一般光学显微镜难以观察到的微细结构。 其不仅能够较为准确地重构出样品的微观三维形 貌，而且能够定量地测量出样品的表面高度及表 面粗糙度。同时对样品的适应性较广，对外界环 境的要求较低，适合在生产环境中使用。 1 微分干涉相衬显微镜测量系统的基本组成 图2 线偏振光入射偏振分光棱镜 2 偏振分光棱镜设计 棱镜设计是微分干涉相衬显微镜中的关键技 术之一。微分干涉相衬显微镜是采用双光束偏振 干涉技术，有效地增强样品边缘的对比度，并产 生出一个伪浮雕式图像。 设线偏振光以入射角 入射到棱镜，楔块楔角 为2／，0光在棱镜中的折射率为n。，e光在棱镜中最 小的主折射率为neo棱镜的三个分界面把棱镜分为 1、2、3区，其中入射角为 ，出射角为 。如图2所示 图1 微分干涉相衬显微镜系统 入射的线偏振光可分为振动方向垂直于纸面和平 如图1所示典型的微分干涉相衬显微镜系统。 行于纸面的两束光。易知对于振动方向垂直于纸面 显微镜结构分光学、照明、机械三个系统。决定 的线偏振光在1区为寻常光，在2区为非常光，称为 质量好坏的是光学系统，微分干涉相衬显微镜光 Oe光。由于在2区中棱镜光轴与光的传播方向垂 学系统主要包括偏振分光棱镜、目镜、物镜、聚 直，波法线方向与光线方向不分离，所以该偏振 光镜、起偏镜、检偏镜、光源、滤波片等。根据 $基金项目：九江学院2006年校级科研项目 (项目编号：06KJ32) 收稿日期：2007—03—06 作者简介：杨险峰 (1971一 )男，江西九江人，九江学院机械工程学院讲师，硕士。研究方向为精密仪器。 2007年第6期 九江学院学报 ·4