蓝宝石单晶生长技术研发.pdf

合約編號 ：華機95專案字 011號 中華技術學院 產學合作研究計畫 結案報告 機械工程系 合作廠商 ：越峯電 子材料股份有限 公司 計畫執行時程 ：95 年3月 17日 至 96 年8月 31日 計畫金額 ：1,262,000 元 計畫主持人 ﹕黃聖芳 博士 藍寶石單晶生長技術研發 越峰電子材料股份有限公司 委託主導性研究計畫 結案報告 計畫主持人 ：黃聖芳 中華技術學院 機械系 Tel ：02xt.24, 0921833132 Fax e-mail ：sfhuang@cc.chit.edu.tw 台北市 115 南港區研究院路三段245號 計畫執行時程 ：95 年3月 17日至 96 年8月 31日 目 錄 1 、研究背景 2 2 、藍寶石之特性 5 3 、藍寶石單晶生長 方法介紹 7 4 、原料 、設備與實驗方法 17 5 、晶體檢測程序 27 6 、計畫執行成果 28 7 、結論 36 1 、研究背景 ： 藍寶石 (Sapphire)是一種氧化鋁 (Al O的單晶) ，又稱為剛玉 (Corundum) ， 2 3 由於具有優良的機械 、光學、化學以及抗輻射性質 因此近年來受到工業界廣， 泛的應用 。由於藍寶石的光學穿透範圍非常的寬 ，從波長 190 nm的近紫外光 到波長5500 nm的中紅外光 藍寶石都有很好的透光率， 因此大量被使用作為， 特種光學元件的透鏡材料、高功率雷射的透鏡材料以及飛彈彈頭光罩的材料 ， 如圖 1所示 。由於藍寶石具有非常高的硬度與耐磨耗性能 因此也常作為精密， 機械的軸承材料，如圖 2所示 。又因具有的良好之抗幅射性能 ，也使得藍寶石 常被應用於航太機具或暴露於輻射環境中的光學元件材料 ，如圖 3所示 。此 外 ，目前在製作藍白光 LED時所使用的基板材料 (Substrate) ，也是以藍寶石為 主圖， 4所示即為藍光發光二極體 (LED)的結構示意圖 。由於藍白光 LED 具有 使用壽命長 、消耗功率低 ，發光效率高等優勢 ，已成為未來照明燈具的主流 ， 深具市場發展潛力 ，因而使得作為製作藍白光 LED 基材的藍寶石之市場需求 量也大幅提升 。 目前國內工業界對藍寶石的需求量很