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空调系统对无尘室的影响及二次配管路优化汇编
管路优化 红色表示原来管路,黄色表示优化的管路 21/35 节省的管路 管路优化 盘面的位置选择(方便开关阀门) 盘面的整洁美观 2.2m 整个盘面的位置太高,如需操作阀门,需找爬梯之类的辅助工具。优化意见:整个阀盘下调700mm 1.5m 盘面的优化 22/35 盘面优化 天花板上方管路对比 管路歪斜 管路笔直 照片对比展示 23/35 管路高低不平 管路整齐 管路死角对比 24/35 照片对比展示 管路支架对比 管路缺少支架 管路固定整齐 25/35 照片对比展示 管路穿越天花板对比 管路歪斜 管路垂直美观 26/35 照片对比展示 盘面高度对比 盘面高1.6m 盘面高2.2m 27/35 照片对比展示 高架地板下面管路对比 管路歪斜 管路横平竖直 28/35 照片对比展示 支架歪斜 支架平整 盘面支架对比 29/35 照片对比展示 橡皮垫丑陋 橡皮垫整齐 P型卡橡皮垫对比 30/35 照片对比展示 压力表歪斜 压力表整齐 压力表安装效果对比 31/35 照片对比展示 支架晃动 支架稳定 盘面支架的固定 32/35 照片对比展示 针对现场漏水系统的判断 根据区域判断 第一判断:空调水。原因:覆盖全厂区 第二判断:PVD/WET区漏水判断—纯水,原因是纯水主要集中在南区PVD、WET区。 第三判断:CVD/DRY区漏水判断—PCW,原因是PCW主要集中在CVD/DRY区。 第四判断:排水,排水的可能性小。原因:排水它是重力流。 33/35 漏水判断 心得体会 经过了一年的学习和锻炼,认识到了想要认真的学习、工作、生产,就必须要营造一个良好的环境。就像我们的南京熊猫厂房一样,只有我们做好了各方面的工作,不漏掉每一个洞的封堵,做好每一根水管、气管的安装,注重每一个环节的重要性,这样才能保证生产的正常进行,才能保证产品良率的提高。 34/35 心得 报告完毕,谢谢大家! 35/35 _______________uis _______________uis 1 1 1 1 1 空调系统对无尘室的影响 及二次配管路优化 1.空调系统对无尘室的影响2.二次配管路优化3.针对现场漏水系统的判断4.心得 目录 2/35 目录 无尘室 无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度 从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 引言 3/35 空调系统对无尘室的影响 空调箱(MAU)的作用: 1.MAU结构 2.制造风能 3.除去大部分粉尘、微粒 、离子 4.控制温湿度 5.调节压力 4/35 空调系统对无尘室的影响 空调箱(MAU) 热盘管(供35 ?,回28?) 加湿器 出风口风阀 MAU照片展示 5/35 MAU两视图 6/35 空调箱制造风能 MAU利用120kw的 电机拖动风机的运转产生压力差,导致了气流的运动,最终形成了风能。(备注:1台MAU 在频率为45Hz的运行情况下可输出每小时10万m3风量) 7/35 空调系统对无尘室的影响 进风口无纺布 初效过滤器 中效过滤器 高效过滤器 气流方向 认识空调箱的过滤器及效率 效率 效率 效率 20—30% 40—60% 95% 99.97% 气流方向 气流方向 气流方向 效率 8/35 空调系统对无尘室的影响 MAU对温湿度的影响 MAU利用气流与盘管的充分接触,发生热交换从而达到对出风温度的控制。 通过了一道热盘和一道冷盘以后风的含热量即焓值,再经过加湿器再经过一道冷盘和热盘最终达到了对湿度的控制。 在一定的条件下,温度和湿度成反比。推论如下:绝对湿度/饱和绝对湿度=相对湿度 (此公式运用于同一温度,同一压力条件下) 9/35 空调系统对无尘室的影响 MAU监控系统 现由业主规定,10台MAU的运行频率都为45Hz,之所以这样规定是因为只要对一台MAU进行调整就会对无尘室的压力环境造成影响,反过来我们也可以根据现场的情况以及现场的需求,通过调整MAU的频率可以调整某个局部的压力。以OHV—3为例: 总静压管 静压值 MAU对压力的影响 11/35 空调系统对无尘室的影响
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