采用双弹性元件级联的微小推力测量方法.pdfVIP

清华大学学报 自然科学版 年第 卷第 期 !# $%%%%%’( - .*%%( (( * $B,+C )# $$***+,# - .= *%%(= A((= A* *%’*%C /012345678329 :2;0:5 ?@ #? 采用双弹性元件级联的微小推力测量方法 陈旭鹏= 李 勇= 周兆英 清华大学精密仪器与机械学系 北京 - = $%%%C(. 摘 要 微小型推进器和推进技术的研究开发迫切要求 有较高频响的力传感测量系统 D ! J 级或更小推力的动态测量 该文提出了一种微小力测量方 # 测力方法基本上分为两大类D .利用功能材 7 法 采用双弹性元件级联结构 兼顾实现高刚度和高灵敏度 :*; :+; $ $ 料的换能特性 如压电 或磁弹性效应 来测量力8 = 的测量性能 并简化了传感器的设计 在该结构原理的理论 $ # 通过测量位移 或应变 间接测量力 其中最常用 . - . = 3 分析的基础上 研制了一套高灵敏度的电阻应变片式动态力 $ 的是电阻应变片 电感传感器和电容传感器:(; 功能 9 J 传感器 达到 的灵敏度和 的分辨 $ % () * + ,- !’ ! ’ ! 材料型力传感器具有高的刚度 电容和电感传感器 率 带宽达到 通过标定其静 动态性能验证了双弹 = $ ./ # 2 01 具有较高的灵敏度 但它们的处理电路都比较复杂 性元件级联式微小力测量方法的可行性# = J 而且 当原始信号非常微小时 采用交流载波对放大 关键词 微小推力 双弹性元件级联 测量 = = D 3 3 器的带宽要求较高J 中图分类号D C*+ 文献标识码D 0R