采用变焦液体透镜的共焦检测系统的设计与仿真.pdfVIP

下载本文档

8
0
约1.97万字
约 6页
2017-07-08 发布于北京
举报
版权申诉

采用变焦液体透镜的共焦检测系统的设计与仿真.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

采用变焦液体透镜的共焦检测系统的设计与仿真.pdf

V01．33 第33卷第1期应用光学 No．1 2012年i月 JournalofAppliedOptics Jan．2012 文章编号：1002—2082(2012)01—0014—05 采用变焦液体透镜的共焦检测系统的设计与仿真张运波，侯文玫，郑继红 (上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093) 摘要：共焦显微技术越来越广泛地应用于微机电系统和半导体器件的三维轮廓测量。设计一种新型采用变焦透镜作为轴向扫描方式的共焦显微系统，利用变焦透镜的焦距变化来代替传统的轴向位移扫描。系统实现了无机械运动的轴向扫描，消除了传统共焦系统中由位移台移动带来的振动，不仅减小了系统的复杂度，而且降低了成本。进一步设计了基于位移台和变焦透镜的两种共焦检测系统，并且对其进行了仿真实验。实验结果表明：基于位移台和基于变焦透镜的共焦系统的聚焦成像和离焦成像结果类似，并且光强的轴向分布曲线也基本相同，表明此方法可行。关键词：三维轮廓测量；共焦显微镜；轴向扫描；变焦液体透镜中图分类号：TN202；TH742．9 文献标志码：A doi：10．5768／JA0201233．0101004 simulationofconfocaldetection and Design systemutilizing tunable-focuslens liquid ZHANGYun-bo，HOUWen—mei，ZHENG ji—hong and of for of Shanghai (DepartmentOptical—ElectricalComputerEngineering，University Scienceand 200093，China) Technology，Shanghai the ofeonfocal is in three-dimensional Abstract：The microscopewidelyapplied pro— technology file ofthemicro-electro-mechanicalandsemiconductordevice．This metrology system paper anovelconfoeal basedtunable-focus the presents microscopesystem lens．Byutilizingchangea— focal ofthislensinsteadofthetraditionalmethodsinaxial