采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额.pdfVIP

羔鲨…．． V删盎 型堑!! 型竺!!釜型。磊删‰。罴…嘲。。 !里!些!兰!竺!!坠!竺竺竺!!!!!竺竺!里兰竺!堑：：釜 [文章编号]100l一246x(2t)02)04一0290一03 采用壳层效应屏蔽长度MonteCarlo方法 计算溅射产额 李之杰1， 王泽辉1， 川村孝一2， 山村泰道2 (1内蒙古陀旌大学理工学院物理系，山蒙古通辽市02R0们；2冈山理科大学．日本埘山市700一0005) [摘要]使用AcAT模拟程序计算了不同离于碰撞在单原子材料上的溅射产额采t}}j山村等人提出的考虑壳层 效应的理沦墀蔽长度，原子间作用势用Mol，6陀势．j1将计算结果与实验数据和山村等的经验公式进行了比较 [关键词】 Monte ca山模拟；溅射产额；壳层效应的屏蔽长度；原子问作用势 [中圉分类号]0562．4 [文献标识码】A 转向器的一种预想材料，我们选择Mo和w作靶材 0引言 采用H+、D+、3He4、He4和Ar+等作入射离子，对自 在溅射镀膜、表面分析技术、粒子束分析及表面 溅射产额也进行了计算 细微加J=等方面，离子溅射已得到越来越广泛的应 用．另一方面，因溅射对材料的辐照损伤而产生的负 1考虑壳层效应的屏蔽长度 面影响也是溅射理论研究的一个重要方面．在聚变 固体中两体碰撞问题经常要涉投原子间距较小 堆的设计中，材料的辐照损伤是重要问题之一等离 子和壁相互作用的结果：溅射使高z原子材料进入 近似模型 等离子体，使等离子体产生沾染物而改变了性能．产 P(r)：一玛(二)， (1) 牛r无效的加热结果、腐蚀装置壁等不希望的过程． 溅射产额是离子溅射最重要的参数，目前采用 其中≠(r，。)为屏蔽函数，。为屏蔽长度，z。、z：为 的是众所周知的物理溅射方法．计算机模拟是一个 两碰撞粒子的原子序数．对两原子的TF模型的势函 重要的研究方法，Eckmin使用TRIM程序计算出了数尚不能用一个精确解析式表示．经常使用近似的 多种离子和各种靶结合的溅射产额”1． 势函数有多种．比较常用的如Moli∈re势 用计算l研究带电粒子和固体碰撞问题时，描 ≠(*)=O．35e_0h+O．55eh+0．10e“¨，(2) 述原子间相互作用的作用势十分重要．山村等人以 其中z=r／。称约化半径． 11Ioms—Femi(TF)屏蔽库仑势讨论原子核相互作用，屏蔽长度n有几种不同的形式，如“ndhard， 常将各种不同的屏蔽长度用在原子间相互作用势 Fl增ov，zBL(zieder，Bie均ack 中，和实验取得很一致的结果”J．山村(Yamanmra)等长度分别为 人“最近提出一种方法，包含每个元素的壳层效应 O．8853480 … 碰撞原子的屏蔽长度．我们用山村等人提出的屏蔽 o‘2西r■霉甲’ ¨’ 长度及蒙特卡罗法程序AcA一…，计算了靶为单原子 H’ 的多种离子和靶的垂直入射按入射能量分布的溅射 。’2砑F■矛严’一器，(4) 产额”J和由不同角度人射按角度分布的溅射产额， ％一岩笔蔫， ㈥∞’ 同时用AcAT计算值与山村等的经验公式”1和实验 。…2西，■巧可’ 值