采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析.pdfVIP

第41卷第2期 红外与激光工程 2012年2月 V01．41No．2 Infrared andLaser Feb．2012 Engineering 采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析 贾辛，邢廷文，魏豪明，李云 (中国科学院光电技术研究所，四川成都610209) 摘 要：随着现代工业和科学技术的飞速发展，特别是近代大规模集成电路技术的不断提高，对系统 精度的要求日益提高。在光刻系统中，越来越短的特征尺寸要求我们使用更高精度的光刻物镜。在这 之前我们需要更高精度的检测技术来满足加工及系统集成的需要。高精度移相干涉仪的测量结果包 含了待测面和参考面的误差，移相干涉测量法的测量精度受限于参考面的精度。绝对测量方法通过 移除参考面的误差，从而达到提高测量精度的目的。回顾了光学平面面形绝对测量方法，重点描述了 基于奇偶函数的绝对测量方法。分析了旋转角度误差对测量结果的影响，通过旋转更小的角度求出 了高阶面形拟合分量，给出了求高阶面形拟合分量的通项公式。 关键词：光学检测； 绝对测量； 奇偶函数； 面形检测 中图分类号：TH74文献标志码：A 文章编号：1007—2276(2012)02—0500—06 andsimulationofabsolutetestof Analysis flats toevenandoddfunctions decomposed Jia Yun Xin，XingTingwen，WeiHaoming，Li of and of (InstituteOpticsElectronics，ChineseAcademySciences，Chengdu610209，China) isneededwiththe ofmodem and Abstract：High—accuracysystem rapiddevelopmentindustry technology， the ofmodemscale circuit．In more especiallytechnology large integrated lithographysystem，andprecision lensareneededto theshorterandshorter critical more satisfy lithographydimension，and precisiontesting isneededto the offabricationand ofthe technology satisfyrequirement integration．Results hi。gh-accuracy interferometericcontain