C_注入a_SiN_x_H原子化学键合研究.pdfVIP

第 28 卷 　第 3 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 28 　No . 3 2007 年 3 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Mar . ,2007 C+ 注入 aSi Nx ∶H 的原子化学键合的研究 1 1 , 2 2 1 陈　超 　刘渝珍 　董立军 　陈大鹏 　王小波 ( 1 中国科学院研究生院 , 北京 100049) (2 中国科学院微电子研究所 , 北京 100029) 摘要 : 常温下对低压化学气相沉积制备的纳米硅镶嵌结构的 aSiN x