第3章电容式传感器.pptVIP

几种不同的电容式传感器的原理结构图 （a）、（b）为变极距型； （ c）、（d）、和（f）为变面积型； （g）和（h）为变介电常数型。 （a）和（b）、（c）、（e）是线位传感器； （d）是角位移传感器；（b）和（f）是差动式电容传感器。 电容的相对变化量当 时，将式用泰勒级数展开： 略去非线性项后，有近似关系为 令 则S=1/d 式中，S——变极距电容式传感器的灵敏度，它说明了单位输入位移能引起输出电容相对变化的大小。 由以上各式可得以下结论：（1）欲提高灵敏度S，应减小起始极距d；但受电容器击穿电压的限制，而且增加装配工作的困难；（2）非线性将随最大相对位移增加而增加，因此为了保证一定线性度，应限制动极板的相对位移量；（3）为了改善非线性，可采用差动结构。当一个电容增加时，另一个电容则减小。这时对于差动结构，两电容并联，总输出减少了偶次项，显然非线性减小，且灵敏度提高一倍。 例4.1 一变极距斜型平板电容电传感器，d0=1mm，若要求测量线性度为0.1%。求：允许极距测量最大变化量是多少？ 解：变极距平板型电容传感器输出的线性表达式 忽略高阶项非线性表达式为 线性度 由题意得