全息扫描镜直线扫描分析及像差校正-光学精密工程.PDF

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全息扫描镜直线扫描分析及像差校正-光学精密工程

8 4 Vol. 8, No. 4 2 0 0 0 8 OP T ICS A N D PR E CI SION EN GI NEER IN G A ug . , 2000 1004-924X( 2000) 04 -0 340-05 邹振书 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130021) : , , , , , , : 全息扫描镜; 直线扫描; 像差校正 : T B 877: A 1 引  言 , , , , , , , , ( ) , , , , , , , , , , , , [ 1- 3] , , , , , , , , , , , ; , , 2 全息扫描镜原理 Fig. 1P lane g ra ing holo gr aphic scanner : 2000-0 1-13; : 2000-04-05 4 : 341 , , , - , ( 1) F , , , , , , , F ig . 4 Spa ial frequency dis r ibu io n o f he , holog r aphic disk u sing a div erg en spher ical w av e as he ref er ence w ave a 0 [ 4] disk ra a ion ang le , ( 2) 3 全息扫描直线性分析 , , , ,

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