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全息扫描镜直线扫描分析及像差校正-光学精密工程
8 4 Vol. 8, No. 4
2 0 0 0 8 OP T ICS A N D PR E CI SION EN GI NEER IN G A ug . , 2000
1004-924X( 2000) 04 -0 340-05
邹振书
( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130021)
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: 全息扫描镜; 直线扫描; 像差校正
: T B 877: A
1 引 言
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[ 1- 3]
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2 全息扫描镜原理
Fig. 1P lane g ra ing holo gr aphic scanner
: 2000-0 1-13; : 2000-04-05
4 : 341
,
, ,
- , ( 1)
F
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,
, F ig . 4 Spa ial frequency dis r ibu io n o f he
, holog r aphic disk u sing a div erg en
spher ical w av e as he ref er ence w ave a 0
[ 4] disk ra a ion ang le
, ( 2)
3 全息扫描直线性分析
,
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