壹、仪器研制-仪科中心.PDF

壹、儀器研製 一、光電儀器 項次 項目 系統參數 EFL ：36 mm 四波段： F# ：3 B1 (450–520 nm) FOV ： 20° B2 (530–610 nm) IFOV ：0.25 m rad B3 (630–690 nm) 1 植被及國土變遷觀測儀 B4 (780–900 nm) 光學MTF ： (波段範圍可於400– 1000 nm 0.4@56 lp/mm 系統MTF ： 內依需求變更) 0.15@56 lp/mm F ：262.5 mm IFOV ：0.25 rad 2 高解析度光電影像模組 FOV ：3.8° 4 BLU 適用 輝度精度：3 % 背光模組 (BLU) 輝度及均勻度 3 輝度：10–6000 nits 輝度重複性：1 % 量測儀 均勻度精度：2 % 4 加強型CCD (ICCD) 使用光放大管 提供客製 輸入畫素： 圓心位置判斷精度： 640  480 pixels Max 0.5 pixel 5 晶圓定位精度檢視儀 半徑判斷精度： Max 0.3 pixel 14403 pixels/line RGB filter attached 6 線性CCD camera pixel size ：5 m LVDS interface pixel rate ：5 MHz 提供客製 450–900 nm Resolution ：3 nm (FWHM) 7 高光譜儀 FOV ： 20° 提供客製 二、真空儀器 項次 項目 範圍 波長：266 、355 、532 、1064 nm 1 脈衝雷射鍍膜系統 7