大气笔式水气电浆对软式印刷电路板之开发与应用-龙华科技大学.PDF

大氣筆式水氣電漿對軟式印刷電路板之開發與應用 大氣筆式水氣電漿對軟式印刷電路板之開發與應用 顏進國 黃丞佑 宋大崙 劉沖明 龍 華 科 技 大 學 工 程 學 院 摘要 我們所發展的射頻大氣筆式水氣電漿系統，已證實能在大氣下加入 Ar+H O 產生和 2 維持，並且用來蝕刻和表面處理，屬於非熱平衡的電漿束。研究中，使用射頻大氣筆式 水氣電漿系統，來研究去除軟式印刷電路板 (FPCB)上之膠渣，在過去去除蝕刻方面 ，都 是使用濕製程，大部分的濕製程都為有毒化學液處理，而為了能取代這項處理方式，我 們採用了電漿處理的方式來達到蝕刻要求。我們所使用的樣品為聚亞醯胺 (Polyimide, 簡稱 PI)和環氧樹脂之複合材料。實驗中我們比較通入之氣體 (Ar, Ar+H O) ，因為Ar是 2 惰性氣體，所產生之高能量粒子被利用來撞擊樣品表面，當水氣進一步加入氣體中，所 產生出 OH 基、O和 H作為蝕刻表面的反應元素。 Ar+H O電漿在多頻光譜分析儀中被 2 量測證實含有 OH 基、O和 H 等化學元素。最後，經由重量的量測，證實無法有效的 去除膠渣，但能有效的改善親水性，故對於表面改質有相當的貢獻。 關鍵詞： 筆式、 PCB 、電漿、去除 一、前言 用過錳酸鉀和 CF 電漿處理的方法，來處理 4 電漿(Plasma)是一種電離的氣體狀 去除 FPCB中的膠渣，以及表面的處理。由 態，由於存在電離出來的自由電子和帶電離 於使用過錳酸鉀和 CF 電漿蝕刻都為有毒 4 子，電漿具有很高的電導率和方向性，與電 氣、液體的加工處理，所產生出來的汙染嚴 磁場存在極強的耦合作用 [1,2,3] 。這種狀態被 重的危害周遭環境，相對於現在的環保意識 稱為電漿態，廣泛存在於宇宙中，常被視為 的崛起，去膠渣處理這項研究已成為重要的 物質的第四態（有人也稱之為「超氣態」）。 討論議題，尋求不對周遭環境有影響的蝕刻 電漿由克魯克斯在 1879 年所發現， 方式。例如黃文鵬和寇崇善博士共同所設計 「Plasma」這個詞，由朗廖爾在1928 年最 的新式電漿束，使用氣體 (He+O 所產生的) 2 早採用，以至於現在廣泛運用和討論。 電漿，取代 CF 氣體的處理過程。離子中所 4 [4] 產生的氧基(O)為主要蝕刻活性粒子 。 軟式印刷電路板(Flexible Printed 我們研究主要是在利用水氣電漿來取代 Circuit B