微流控芯片中超微电极的制作及其在芯片-电化学检测中的应用.PDF

V o l. 24 高 等 学 校 化 学 学 报 　 N o. 7　 2 0 0 3 年 7 月 　　 　　　　　CH EM ICAL JOU RNAL O F CH IN E SE UN IV ER S IT IE S　　　　　　　　　 1180～ 1184　 微流控芯片中超微电极的制作及其 在芯片- 电化学检测中的应用 金　亚, 罗国安 (清华大学化学系, 北京 100084) 摘要　设计并制作了集成有超微电极的玻璃微流控芯片. 在电化学检测芯片 1 ( EC 1) 中, 以光刻方法制作 13 m 宽的P t 超微电极, 距分离管道末端 30 m , 优化电极体系和分离电压, 检测了电泳分离的神经递质. 在电化学检测芯片 2 (EC 2) 中, 制作 7 m 宽的超微电极, 在其上游集成城墙式的膜结构, 进一步腐蚀后的 膜厚度为 10 m , 具有良好的导电性和散热性能, 成功地将高压电场截至在超微电极之前, 具有进一步应用 于电化学检测的能力. 关键词　微流控芯片; 超微电极; 电化学检测; 多孔膜 中图分类号　 657. 15　　　　文献标识码　 　　　　文章编号　025 10790 (2003) O A 微流控芯片是 目前微全分析系统( , 简称 ) 的研究重点之一, 它是利用微 M icro To talA naly sis TA S 细加工技术, 在玻璃及高分子等基片上制作以管道网络为主的微型结构, 通过对微流体的控制, 实现 [ 1～ 4 ] 对生化样品集成处理和分析的微型平台 . 检测技术是芯片系统研究的关键之一, 目前主要使用激 光诱导荧光检测方式, 但其装置体积较大, 使芯片本身体积微小的优势难以体现. 电化学检测在使用 [ 5 ] 超微电极时, 具有灵敏度高和响应快等优点 , 应用到芯片中还具有 良好的装置微型化潜力, 但 目前 [ 6 ] 在玻璃微流控芯片中的研究和应用还较少 , 这主要是由于微流控芯片中多采用电渗泵驱动流体, 其 高压电场对电化学检测影响较大, 另外在玻璃基片上制作超微电极的工艺不如硅片上成熟, 且与深微 管道结构的集成也是制作