质子交换在铌酸锂和同化学剂量比铌酸锂晶体中形成光波导.PDF

中国科学 G 辑:物理学 力学 天文学 2008 年 第 38 卷 第 8 期 : 999 ~ 1007 SCIENCE IN CHINA PRESS 质子交换在铌酸锂和同化学剂量比铌酸锂 晶体中形成光波导 李士玲①②* ① 曲阜师范大学物理工程学院, 曲阜 273165; ② 山东大学物理与微电子学院, 济南 250100 * E-mail: shilingli@ 收稿日期: 2007-12-26; 接受日期: 2008-03-04 国家自然科学基金(批准号:和曲阜师范大学科研启动基金资助项目 摘要 报道了用质子交换法在铌酸锂晶体和同化学剂量比铌酸锂晶体中 关键词 形成了光波导, 在633 和 1539 nm 波长下, 用棱镜耦合法测量了波导的暗模 光波导 特性; 端面耦合得到波导的近场光强分布, 与普通铌酸锂质子交换形成光波 质子交换 导的近场输出相比, 输出光强均匀而且比较亮, 说明在同化学剂量比的铌酸 铌酸锂晶体 同化学计量比铌 锂中形成的光波导质量要好些. 对普通铌酸锂晶体质子交换光波导, 研究了 酸锂晶体 波导退火特性, 经过退火, 折射率分布由阶跃型转变成渐变型的, 退火的时 间越长, 折射率分布变化的趋势越缓慢; 并给出了不同交换时间下样品的 RBS/Channeling 谱, 与未进行交换的样品相比, 质子交换铌酸锂的沟道谱的 产额有增高, 而且交换时间的越长, 产额增高的越多. [1] 自从Jackel 等人 首次报道了用质子交换法制备LiNbO3 波导以来, 国内外对质子交换 LiNbO3 波导进行了广泛的理论和实验研究[2~4]. 研究发现在波导层中, 异常光折射率有显著增 加(~0.13, 633 nm), 寻常光折射率仅有很小的降低, 这意味着X 切和Y 切LiNbO3 波导只传播TE (transverse electric)模, Z切LiNbO3 波导只传播TM (transverse magnetic)模式, 因此质子交换 LiNbO3 波导容易实现偏振控制. 但用纯质子源制备的LiNbO3 波导仍存在着一些严重的问题, 如电光系数下降、传输损耗仍偏高、折射率分布不稳定. 若采用合适的缓冲质子源(如在苯甲 酸中加入适量的苯甲酸锂)或对交换后的波导再进行退火处理(annealing proton exchanged, 简 称APE波导), 上述问题可以得到解决[5~7]. 与采用缓冲质子源相比, 退火工艺不但可以减小波 导的制作时间和复杂性, 而且能对折射率分布进行设计, 从而构造模场分布. 同化学剂量比铌酸锂(stoichiometric LiNbO3, 简称为SLN)晶体由于晶格完整, 消除了同成 999 李士玲: 质子交换在铌酸锂和同化学剂量比铌酸锂晶体中形成光波导 分铌酸锂晶体中的缺陷的不利影响, 改善了晶体的许多性能, 如矫顽场显著减小, 电光系数、 非线性光学系数、光折变灵敏度、光致折射率变化和激光损伤阈值等特性都有一定程度的提