GB/T 11093-2007液封直拉法砷化镓单晶及切割片.pdf

犐犆犛２９．０４５ 犎 ８３ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜１１０９３ ２００７ 代替 ／ — ＧＢＴ１１０９３ １９８９ 液封直拉法砷化镓单晶及切割片 犔犻狌犻犱犲狀犮犪狊狌犾犪狋犲犱犮狕狅犮犺狉犪犾狊犽犻狉狅狑狀 犪犾犾犻狌犿犪狉狊犲狀犻犱犲狊犻狀犾犲犮狉狊狋犪犾狊犪狀犱 狇 狆 犵 犵 犵 狔 犪狊犮狌狋狊犾犻犮犲狊 ２００７０９１１发布 ２００８０２０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜１１０９３ ２００７ 前 言 　　 本标准是对 ／ — 《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》的修订。 ＧＢＴ１１０９３ １９８９ 　　 本标准与 ／ — 相比，主要有如下变动： ＧＢＴ１１０９３ １９８９ ———单晶和切割片的牌号按照 ／ 《半导体材料牌号表示方法》进行了修订； ＧＢＴ１４８４４ ———增加了 （ ）、 、 和 规格的产品； ７６．２ｍｍ ３ｉｎ １００ｍｍ １２５ｍｍ １５０ｍｍ ———增加了掺入碳等杂质元素的产品； ———去掉了４０ｍｍ规格的产品； ———取消了按位错密度对产品进行分级。 本标准自实施之日起，代替 ／ — 。 ＧＢＴ１１０９３ １９８９ 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准起草单位：北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人：张峰翊、郑安生。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— ／ — 。 ＧＢＴ１１０９３ １９８９ Ⅰ ／ — 犌犅犜１１０９３ ２００７ 液封直拉法砷化镓单晶及切割片 １ 范围 　 本标准规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的要求、试验方法、检验规则和标志、包装运输贮 存等。 本标准适用于液封直拉法制备的砷化