半导体厂务噪音分析技术探讨-台湾科学工业园区科学工业同业公会.PDF

半導體廠務噪音分析技術探討 旺宏電子股份有限公司 廠務工程部 空調潔淨室課 林俊伯 台灣科學工業園區科學工業同業公會 Agenda 前言 目的 研究設備與方法 結果與討論 結論與建議 台灣科學工業園區科學工業同業公會 前言 噪音的特性 噪音=聲音...聲音係物體振動經由彈性介質傳送產生聲波。 人耳對特別高低頻的聲音都聽不到，這兩端的界線大慨分別為 20kHz 及。20Hz 聲音係由物體振動而產生大氣壓力的擾動，引起大氣壓力變化 差值，稱為聲音壓力、簡稱音壓。 聲壓位凖是度量人聽覺反應的數據，壓力單位為巴斯葛(pa)、 一般和大氣壓力(105pa)比要小很多，而20µ pa就是人耳所能聽 到最微弱之聲音。 dB (decibel) = 10log (Q/Q ) 10 0 台灣科學工業園區科學工業同業公會 前言 噪音對人體的影響 令人討厭、使人困擾或會對人造成傷害的聲音。 ‧ 聽力損失…失聰、重聽 ‧ 生理影響…血壓升高、食慾不佳 ‧ 干擾彼此交談…語言可聽聞性 ‧ 干擾睡眠…睡眠品質 ‧ 心裡厭煩…情緒影響 台灣科學工業園區科學工業同業公會 低頻噪音特性!! 頻率介於20~200Hz範圍內，低於20Hz稱為超低頻。 低頻噪音具遠傳遞特性。 對睡眠及心理造成負面影響，嚴重甚至導致精神衰弱、憂鬱症及 婦女不孕等。 通常是由機械運轉時所引起，主要來源有壓縮機、抽/送風機、引 擎、抽水機、振動篩、破碎機、輸送帶、燃燒機械（如鍋爐）、 空調系統、冷卻水塔等等。 台灣科學工業園區科學工業同業公會 目的 建立噪音資料庫、了解廠區週遭噪音值分佈。 藉由實測噪音數據及頻譜分析手法，分析出噪音敏感 處的主要來源，進行改善。 台灣科學工業園區科學工業同業公會 目的 『頻譜分析』V.S﹛噪音計﹜ 均能音量!! 來源鑑定!! 音源表現!! 改善效果!! 成本考量!! 創新手法!! 台灣科學工業園區科學工業同業公會 研究設備與方法 取樣地點: 噪音敏感處延伸至本廠週界環境。 微音器: 微音器或稱麥克風、可將聲波轉換電子訊號。 1/3 八音階頻帶分析儀: 原理是利用內部具備濾波器功能，將某一特定範圍頻率成分的信號通 過，同時遮斷其他頻率成份的訊號，而1/3 八音階頻帶分析儀將八音 階之濾波頻帶之每一音階再細分為三個音階，以提高音位準變化分析 精度。 電功率校準器: 原理是來自一電子振盪器產生之穩定訊號，藉揚聲器產生已知音壓位 凖之聲音加以校正，產生標準聲源為1000Hz為94dB。 台灣科學工業園區科學工業同業公會 研究設備與方法 現場測量區域應有維護安全之基本設備。 噪音測量前先以聲音校正器校正噪音計，並紀錄校正結果。 噪音計架設於噪音計專用之三腳架上，將微音器朝向欲量測之發音 源，且其垂直角度依發音源傳播方向而調整至最適合位置。 我國噪音管制標準雖有規定低頻噪音，其連續量測取樣時間需至少2分