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基于ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片的快速制备 - 湖北民族学院
27 3 () Vo.l27 No.3
2009 9 JournalofHubeiUniversityforNationalities(NaturalScienceEdition) Sep.2009
ITO-PDMS
, , ,
(湖北民族学院信息工程学院, 湖北恩施 44 5000 )
:提出了一种基于 ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片的 速制备新方法.该方法采用 Protel软件绘
制低电压电泳芯片沟道的形状, 利用电路板加工技术加工沟道模具, 并采用 PDMS整体浇注方法制备芯片微沟道
采用光刻、湿法刻蚀等微加工技术方法对 ITO导电玻璃进行加工, 并制备出 ITO阵列电极.最后经修饰、封装等工
序得到基于 ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片.实验表明:采用该方法制备的 ITO阵列电极线条清晰, 沟道
侧壁陡直、表面光滑.同时, 采用该方法制备芯片周期短, 不需要昂贵的制作设备.
:电路板 低电压电泳芯片 速制备 ITO玻璃-PDMS
:TN305 :A :1008-8423 (2009 )03-0320-04
RapidFabricationofLow-voltageElectrophoresisChipBased
onITOGlassandPDMS
LIAOHong-hu,aLIAOYu, YIJin-qiao, HUANGYong
(SchoolofInformationEngneering, HubeiUniversityforNationalitie,sEnshi44 5000, China)
Abstrac:tAnewmethodofrapidlyfabricatinglow-voltageelectrophoresischipbasedonITOglassand
PDMSispresented.Thechannelmouldoflow-voltageelectrophoresischipisdesignedbyProtelsoft-
war,eandacircuitboardmouldisshapedbyusingthecircuitboardprocessingtechnology.ThePDMS
micro-channelsofthischipareformedbyusingthePDMSmonolithicpouringtechnology.TheITOe-
lectrodearrayisfabricatedbyusingthelithography, wettingetching, andotherprocessingtechnology.
Finally, thelow-voltageelectrophoresischipbasedonITOglassandPDMSiscompositedbythepro-
cessingcours,esuchasmodified, packagingprocesse,sandotherprocessingtechnology.Theexpermient
resultsshowthatlow-voltageelectrophoresischiphasthehighperformanc,e suchastheclearlines
shapeofITOelectrod,e thesteepchannelwal,landthesmoothsurface.Thefabricationperiodofchipis
shor,tandnoexpensiveequipmentisneededtofabricatethemicrochip.
Keywords:circuitboardlow-voltageelectrophoresischiprapidfabricationIndiumTinOxidesglass
(ITO)andPolydmiethylsiloxane(PDMS)
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, [ 1
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