大功率波长稳定半导体激光器中全息光栅的制备.pdfVIP

摘 要 半导体激光器以其体积小、效率高等优良特性在激光通信、激光泵浦等诸多领 域占据着至关重要的地位。但是，随着应用的日益广泛，半导体激光器的激射波长 的稳定性低的问题逐渐出现在研究者们的视野。为了解决上述问题，DFB （分布反 馈）激光器、DBR （分布布拉格反射）激光器等相继出现。考虑到DFB 激光器的 体积小，波长稳定性好的优点，以及808nm 半导体激光器在激光泵浦中具有非常广 泛的应用，本文主要设计并制作了大功率808nm DFB 半导体激光器。 通过对大功率808nmDFB LD 的相关理论进行的系统分析，并考虑到了光电转 化效率、输出线宽、温漂系数等相关参数，结合耦合模理论以及传输矩阵法，初步 确定了光栅的参数，如：长度L 、衍射级数m 、周期Λ 、占空比σ、凹槽深度d 。 g 随后，利用激光干涉全息曝光和湿法腐蚀工艺制作出适用于大功率808nmDFB LD InGaP / GaAsP/ InGaP